Konvert usuli asosida TiO2 plyonkasining sinishi indeksini va yo'qolib ketish koeffitsientini hisoblash

Konfiguratsiya usuli bo'yicha TiO2 plyonkasining sinishi indeksini va ekspluatatsiya koeffitsientini hisoblash uchun materialning yutilish koeffitsienti juda katta bo'lmasligi kerak, aks holda bu kino mahsulotining yakuniy o'tkazuvchanligiga ta'sir qiladi va mahsulotning optik ishlashini kamaytiradi; Shu bilan birga, sinishi indeksi juda past bo'lmasligi kerak, aks holda kesilgan tasmaning kengligi ta'sir qiladi. 1976 yilda Manifacier tomonidan taklif qilingan, baoluo liniyasi usuli, kino qatlamining optik qalinligida lambda sonining ko'payishiga o'tish (yoki aks ettirish) ekstremal qiymatini o'zgartirish orqali kino qatlamining optik plyonkali parametrlarini hisoblash / 4. Aslida esa o'lchash, maksimal T / 2 nuqtasi va minimal T / 4 nuqtasi Tmax () va Tmin () ikkita konvert chizig'ini hosil qilish uchun ulangan. Keyin har qanday to'lqin uzunligidagi T / 2 va T / 4 chegaralarini o'tkazish konvert chizig'ida nuqtalarni olish orqali olinadi. Nihoyat, plyonka qatlamining yo'q bo'lish koeffitsienti va sinishi indeksi, o'tkazuvchanlikning ekstremal qiymati yordamida hisoblab chiqiladi va kino qatlamining qalinligi sinadigan indeksning hisoblangan qiymati va ekstremal nuqtaning to'lqin uzunligi bo'yicha hisoblanadi.

Usulni o'lchash jarayoni juda oson, usul bir vaqtning o'zida kino sinishi indeksini, yo'qolib ketish koeffitsientini va o'lchash jarayonining qalinligini o'lchashi mumkin, kino namunalari bilan aloqa qilishning hojati yo'q, namuna himoyasi, asbob-uskunalar sinov natijalarining har qanday usulini taqqoslash uchun idealdir. to'g'ri ishlatilgan bo'lsa, filmning barcha optik konstantalarini aniqlashning bir usuli bo'lishi mumkin. To'liq uzunlikdagi filmning chiziqli sinishi indeksi n va qalinligi konvert usuli yordamida hisoblanadi.

Qayerda:

 n0 va n1 mos ravishda havo va bazaning sinishi indeksidir; Tmax va Tmin - bu to'lqin uzunligida maksimal va minimal o'tish; Lambda 1, lambda 2 va n (lambda 1), n ​​(lambda 2) navbati bilan ikkita qo'shni cho'qqilar yoki vodiylarning to'lqin uzunligi va sinish indeksiga to'g'ri keladi. TiO2 plyonkasining sinishi indeksi va yo'qolib ketish koeffitsienti Macleod dasturi yordamida hisoblab chiqilgan. Quyidagi (a) rasmdan ko'rinib turibdiki, spektral diapazon uv-ko'rinadigan va infraqizil yonida joylashgan bo'lib, barcha 4 namunaning sinishi indeksi pasayadi. 400 ~ 1000 nm diapazonidagi №1 namunaning sinishi indeksi 2.50 ~ 2.15 orasida. No namunaning sinishi indeksi. 2 va namunaviy raqam. 3 biroz yuqoriroq edi, ammo 4-namunadagi namunalar bir xil to'lqin uzunligida bir oz past bo'lib, 2.45 dan 2.15 gacha edi. 

Yuqoridagi (b) rasmdan bu namunani ko'rish mumkin. 1 aniq yutilish xususiyatiga ega va yo'qolib ketish koeffitsienti spektral diapazon bilan uv-ko'rinadigandan uv-ko'rinadigangacha oshadi. Ma'lumki, Ti metallining arzon oksidlari kislorod bilan ta'minlanmaganligi sababli ishlab chiqariladi. Namunaning maksimal o'tkazuvchanligi yo'q. 2 sezilarli darajada yaxshilandi va yo'q bo'lish koeffitsienti asosan 2,5 × dan past edi10-3, bu hali ham spektrning yakuniy uzatilishiga ta'sir ko'rsatdi. No namunali spektrlarning yo'q bo'lish koeffitsientlari. 3 va namuna yo'q. 4 raqamlari 10-4 tartibida bo'lib, spektrning so'nggi uzatilishiga ta'siri asosan ahamiyatsiz. №1 va yo'q. 2 to'lqin uzunligi bilan namunaning ekstinktsiya koeffitsienti oshadi, qolgan ikkita asosiy to'lqin uzunligi bilan farq qilmaydi, vakuum darajasi sharti bilan namunaning ekstinktsiya koeffitsienti yo'q. 1 va yo'q. To'lqin uzunligi oshishi bilan 2 ta namunaning uzatilishi va pasayishi kamayadi, kislorod miqdori juda past bo'ladi, metall Ti hosil bo'ladi va Ti ning yo'qolib ketish koeffitsienti to'g'ri, to'lqin uzunligi oshadi.

To'rt namunani taqqoslash natijasida kislorod oqimining ko'payishi bilan qoplamaning vakuum darajasi pasayib, avval TiO2 plyonkasining sinishi kuchaygan va keyin pasayganligi aniqlandi. Ionizatsiya ioni kislorod ionlaridan keyin kislorodning ko'payishi natijasida ion zichligi bombardimon plyonkasini ko'paytiradi, ko'proq zich membrana qatlamini hosil qiladi va shu bilan kislorodni to'ldirish miqdori yanada oshishi uchun filmning sinishi indeksini yaxshilaydi. nisbatan past vakuum qoplama tizimi, ortiqcha kislorod molekulalari va TiO2 membranasining molekulyar to'qnashuvi TiO2 membranasining molekulyar kinetik energiyasini kamaytirdi, shuning uchun TiO2 yupqa plyonkali molekulyar ko'chish tezligi pasayishi uchun, membrana qatlamining zichligi yanada kamaydi. yupqa plyonkalarning sinishi indeksi. Agar kislorod kamroq bo'lsa,

IKS-OPT2700 optik avtomat vakuumli qoplama mashinasi ，qo'shimcha ma'lumotlar, bog'lanish: iks.pvd@foxmail.com