Elektron nurlarini bug'lanish bilan qoplaydigan mashinaning tarkibi

Elektron nurlarini bug'lanish bilan qoplaydigan mashinaning tarkibi

Elektron nurni bug'lanish bilan qoplash mashinasi asosan nazorat qilish tizimidan, haqiqiy havo yo'llari tizimidan va elektron qurol tizimidan iborat. 1. Elektron nurli bug'lanish bilan qoplash mashinasining haqiqiy havo yo'lining vakuumli havo yo'lida ikkita nasos mavjud, ya'ni oldingi mexanik nasos va yuqori vakuumli kriyojenik nasos, ular orasida kriogen pompa asosan juda past harorat orqali ishlaydi. , vakuum maqsadiga erishish uchun sovuq soyabonning asl adsorbtsiyasiga ko'ra. Past haroratda yuqori vakuumli nasosni ishga tushirish jarayonida mexanik nasos darajasi quvur liniyasidan oldin vakuum holatida bo'ladi, vakuum quvuri ma'lum darajaga yetganda, xayrli valf ochiladi, mexanik nasos davom etadi ishlashi uchun, quvurni va past haroratli nasosni vakuum holatiga keltiring, oldingi bosqich valfi yuqoridagi amallarni takrorlayotgan edi. 2. Elektron nurni isitish va bug'lanish manbai Elektron nurning bug'lanish manbai asosan elektron tabancadan iborat va qisqich. Agar kerak bo'lsa, qoplama mashinasini xom ashyo bilan ta'minlashi mumkin bo'lgan mexanik uskunalar to'plami biriktirilishi mumkin. Ko'pgina hollarda, elektron nurni ishlab chiqaradigan va boshqaradigan boshqaruv moslamasi va qisqichning dizayni qoplama mashinasida o'rnatiladi. Quyida elektron nurlarini isitish va bug'lanish manbalarining bir nechta tuzilmalari keltirilgan. Bug'lanish moslamasi chiziqli katod va elektrostatik fokus bilan isitiladi. (2) katod va elektrostatik fokus bilan isitiladigan evaporatator. Bug'lanish moslamasi eksenel tabancadan va elektrostatik pult yordamida isitiladi. Bug'lanish moslamasi eksenel tabancadan, magnit markazlashdan va 90 daraja magnit defoltdan isitiladi. E tipidagi qurol evaporatatori, elektron traektoriyasi tomonidan chiqarilgan E tipidagi elektron nurli bug'lanish manbai "E" so'ziga o'xshash, shuning uchun uni E qurol deb atashadi. Hozirgi vaqtda bug'lanish manbasining bu shakli vakuum bug'lanishi va qoplama jarayonida eng keng qo'llaniladi.

IKS-OPT2700 optik avtomat vakuumli qoplama mashinasi ，qo'shimcha ma'lumotlar, bog'lanish: iks.pvd@foxmail.com