Biasni tanishtirish

Yan kuchlanish kuchlanishi qoplama jarayonida substratga qo'llaniladigan salbiy kuchlanishni anglatadi. Elektr energiyasi bilan ta'minlaydigan musbat terminal vakuum kamerasiga ulangan bo'lsa, vakuum kamerasi topiladi. Yonaltiruvchi kuchlanishning salbiy terminali ish qismiga ulanadi. Erning zo'riqishida odatda nol salohiyatga ega bo'lganligi sababli ishlov beradigan negativ tarozida negativ taranglik deb ataladi.

Salbiy tanqislikning funktsiyasi

◆ zarralar energiyasini ta'minlash;

◆ Substrata issiqlik ta'siri;

◆ Substratda adsorbsiyalangan gaz va yog'li ifloslanishlar olib tashlash filmning bog'lanish kuchini yaxshilash uchun foydalidir;

◆ Substrat yuzasini faollashtirish;

◆ Ichki qoplamada katta zarralar tozalash ta'siriga ega.

Bias voltajining tasnifi

(1) To'lqin shakliga ko'ra, quyidagicha bo'lish mumkin:

Shaharning tanqisligi   DC shaharda pulsatsiyalandi

DC shaharda joylashtirilgan impulsli biosfera bipolyar pulsli bios

(2) Quvvat ishlatilganda yuqori voltaj va past kuchlanishni almashtirish zarurligiga ko'ra, uni quyidagilarga bo'lish mumkin:

Yuqori voltaj va past kuchlanishni o'zgartirishning quvvatli diagrammasi

Yuqori va past kuchlanishli kademesiz uzluksiz boshqariladigan chiqishni o'zgartirishga hojat yo'q

Bias quvvatini sozlash parametrlari: bias amplitudasi, ish haqi nisbati, chastota va to'lqin shakli.

Bias quvvat manbai

◆ daqiqada yassi yong'inining soni.

◆ Katta yoylarning sezgirligini aniqlash (mJ / kW aniqlangan arka energiyasi).

Yanashning xarakteristikasini yuklang

Qarshilikning ish yuki plazma bo'lib, plazma DC bias ishlatilganda qarshilik ko'rsatadi. Boshqacha qilib aytganda, impulsli harakatlar qo'llanilganda, plazma rezistor + kapasitadir, bu rezistorlar va kondansativlarning ketma-ket aloqasi sifatida qaralishi mumkin. Kapasitaning mohiyati substratdagi plazma niqobi ostida yuzaga keladi.