Shahar shaharlari va zarbalar biosini taqqoslash

Feb 10, 2018|


Ionlarni bombardimon energiyasini boshqarish uchun substratga DC-salbiy tomonga yo'naltirilgan an'anaviy yondosh ion qoplamasi qo'llaniladi. Cho'kma jarayoni quyidagi kamchiliklarga ega:


Substratning yuqori harorat ko'tarilishi past harorat temperaturali substratda qattiq filmlarning birikmasiga imkon bermaydi.


● Yuqori energiyali ion bombardimonlari jiddiy porlashga olib keldi va qattiq yupqa qatlam yuqori reaktsiya poli energiyasining ion bombardimon energiyasini sintez qilish orqali oddiy bo'lishi mumkin emas.


Ichki tomonlama chiziqli tomirlarni ion qoplama jarayonida, Ioni doimiy bombardimon qilish uchun substrat yuzasini sindirish va substrat harorati juda yuqori bo'lganligi sababli, asosiy chora-tadbirlar cho'kindi kuchini kamaytirish, cho'kish vaqtini qisqartirish, intervalgacha cho'kma va cho'kma haroratini kamaytirish bo'yicha boshqa chora-tadbirlar, bu chora-tadbirlar "Energiyani nazorat qilish usuli" deb ataladi. Ushbu usul biriktirma haroratini kamaytirishi mumkin bo'lsa-da, u filmning ayrim xususiyatlarini kamaytiradi, shuningdek, kino sifati va ishlab chiqarish samaradorligini kamaytiradi. Shuning uchun uni ommalashtirish va qo'llash qiyin.


Darbeli tomonning chiziqli ionli qoplama jarayonida, ionlar substrat yuzasini doimiy bo'lmagan puls bilan bombardimon qilish orqali, zarba biosining ish nisbati moslashtirilib, matritsaning ichki va sirtlari orasidagi temperatura degradatsiyasi o'zgarishi mumkin va unda substratning ichki va sirtlari orasidagi haroratning muvozanatning kompensatsion ta'siri o'zgarishi mumkin, shuning uchun cho'kindi haroratini tartibga solish maqsadiga erishish uchun. Shunday qilib, qo'llaniladigan biosning puls balandligi va ishlov beriladigan qismning harorati alohida (ta'sir yoki kichik ta'sir ko'rsatmaydi) sozlanishi mumkin. Yuqori kuchlanishli impulslar yuqori energiyali ionlarning bombardimon samarasini inshootning mikroyapılarını va fazilatlarini yaxshilash uchun, iyon bombardımanının yig'ish harorati kamaytirish uchun jami isitish ta'sirini kamaytirish uchun vazifa oranını kamaytirish uchun ishlatiladi.



So'rov yuborish