Mass Flow Meter
D07-7KM massa oqim o'lchovi Kirish Ommaviy oqim taymerlari (MFC) uchta asosiy qurilmadan iborat: oqim sensori, oqimlarni ajratuvchi bypass va bosilgan elektron kartochkalar, massa oqim tezligini aniq o'lchov bilan harorat o'zgarishi sababli gaz hajmini o'zgartiradi. MFC maydonlarda keng qo'llaniladi ...
- Mahsulotni tanishtirish
Kirish
Ommaviy oqim o'lchagichi (MFC) uchta asosiy qurilmadan iborat: oqim sensori, oqimlarni ajratuvchi bypass va bosilgan elektron karta, massa oqimining tezligini o'lchash harorat o'zgarishiga qarab gaz hajmini o'zgartiradi. MFC yarimo'tkazgich va IC ishlab chiqarish, maxsus materialshunoslik, kimyo sanoati, neft sanoati, farmatsevtika sanoati, atrof-muhitni muhofaza qilish, vakuum tizimini tadqiq etish kabi sohalarda keng qo'llaniladi.
Odatda dastur
MFC ning odatiy ilovalari diffuziya, oksidlanish, epitaksi, kvm, plazma, quyqalar, chirigan, ionli implantatsiya kabi vakuum biriktirish uskunalari, optik tolali eritma, mikro reaktsiya uskunalari, aralashtirish va mos keladigan gaz tizimi kabi mikroelektron texnologik uskunalarni o'z ichiga oladi. , mayda oqimlarni boshqarish tizimi, gaz kromatografiyasi va boshqa analitik vositalar.
D07-7KM MFC yuqori hassasiyette, uzoq umr, mukammal tekrarlanabilirlik, tezkor javob, yumshoq boshlash, yaxshi ishonchlilik, keng ish bosimi oralig'i (yuqori bosim yoki vakuum sharoitida yaxshi ishlash), qulay va qulay ishlash va boshqalar. U avtomatik tarzda boshqarish uchun zarur bo'lgan joyda va kompyuter bilan ulangan bo'lishi mumkin.
Shartnoma
Oqim oralig'i | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Aniqlik | ± 1,5% FS |
Lineerlik | ± 1% fs |
Qaytarilishi mumkinligi | ± 0,2% fs |
Response-Time | ≤4 soniya |
Harorat koeffitsienti | Nolinchi: ≤ 0.1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃ |
Maksimal bosim | 3MPa |
Operatsion harorati | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Sızdırmazlık mahsulotlari | Viton, Neopren |
Sozlash / Chiqish signallari | 0V ~ + 5.00V (Kirish Empedans> 100K, Chiqish Oqimi ≤ 3ma) |
Quvvatlantirish manbai | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektr aloqasi | D sub 15 pin Ayollar |
Differensial bosim | <0.01> |
Sızdırma darajasi | 1 × 10-8atm • cc / sek U (1 × 10-9 Pa • m3 / soniya) |
Standart qo'shma | SwagelokF8, SwagelokF6, SwagelokF3, Swagelok1 / 8 ", ph4 (Ichki) × 1 Shlang quvuri ëtqizish boshlandi, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", ph6 (ichki) × 1 Shlang quvurlari |
Media | Barcha gaz |
Emi | Idoralar |
Og'irligi | 0,92kg |
O'rnatish hajmi
