Qanday PVD usuli ishlatiladi?
Dec 29, 2017| Jismoniy bug'lanish birikmalarining (PVD) eng ko'p uchraydigan turlari magnetronlarning porlashi va bug'lanish, ya'ni termal yoki elektron nurlari (elektron nur) bo'lishi mumkin. Qaysi usulni qachon ishlatish kerakligini qanday aniqlaysiz?
MAGNETRONNI ISHLATISH NIMA?
Sputter deposition bug'lanishi mumkin bo'lmagan yuqori erish nuqtalari bo'lgan materiallar uchun juda yaxshi. Magnetronli pushtirish - yaxshi yopishqoqligi bilan juda zich filmlarni yaratishning ko'p qirrali usuli. Magnetronli pushtirish - plazmaga asoslangan plazmali qoplama usuli bo'lib, u maqsadning sirtigacha magnit bilan chegaralangan plazma hosil qiladi. Keyinchalik, plazmadagi ijobiy zaryadlangan ionli ionlar salbiy zaryadlangan maqsadli moddalar bilan to'qnashadi va maqsaddagi atomlar chiqariladi yoki "zarrachalar" chiqariladi, keyinchalik substrat yoki gofrirovka qo'yiladi.
MAGNETRON ISITISHINI NEGA IShINGILADI:
● Kino qalinligining aniqligi va kino qoplamalarining zichligi bug'lanishdan ko'ra zich qoplamalar hosil qiladi
● Muayyan optik va elektr xususiyatlarga ega metall yoki yalıtım qoplamalar uchun mukammaldir
● Ko'p magnitronli manbalar bilan tuzilishi mumkin
Chidamli termometr bug'lanish nima?
Chidamli termal bug'lanish PVD ning eng oddiy shakli hisoblanadi. An'anaviy ravishda manba moddasini kamerada bug'lantirish uchun rezistor issiqlik manbai ishlatiladi. Bug'langan materiallar xonada issiqlik energiyasi orqali ko'tariladi va oxir-oqibat substratni ingichka kino bilan qoplaydi. Ushbu jarayon metall yoki nonmetal uchun ishlatilishi mumkin va elektr aloqalari uchun yaxshi tanlovdir.
Nimaga termal bug'lanish buzilishidan foydalanish:
● Engil eritmaga ega bo'lgan metall yoki nozik bo'lmagan metallni yaratish uchun samarali usul
● G'isht bilan bog`lashda ishlatiladigan indiy tushirish birikmasi uchun foydalanish mumkin
● Yuqori cho'kish tezligi porlashdan ko'ra
E-BEAM BUGUNGI NIMA?
E-nurlanish bug'lanishi bu termal bug'lanish jarayonidir, bu termal bug'lanish bilan mumkin bo'lganidan ko'ra ko'proq miqdorda energiyani manbaga to'g'ridan-to'g'ri o'tkazish imkonini beradi. Bu esa, oltin kabi yuqori eritma haroratiga ega bo'lgan materiallarning cho'kishiga imkon beradi. Ushbu usulda bug'lanish materiallari yoki cho'tkasi yoki suv bilan sovutilgan mis o'chog'i joylashganki, u erda u elektron nurlari bilan isitiladi. Issiqlik, manba moddasining bug'lanishiga olib keladi, keyinchalik substrat ustiga yotadi.
E-BEAM BUHARIGA QO'LLANMAN:
Turli materiallar, shu jumladan, yuqori erish nuqtalariga ega bo'lgan issiqlik bug'lanishiga duch kelmaydiganlar uchun ishlaydi
● puflab ketish yoki kimyoviy bug'lanish birikmasidan (CVD) ko'ra yaxshiroq pog'ona qoplamini ta'minlaydi.
● Yuqori moddadan foydalanish samaradorligini va yuqori cho'kish tezligini puflanishdan ko'ra ko'proq taklif qiladi
● Dastlabki tozalash yoki ion bilan biriktirilgan cho'ktirma (IAD) ni ta'minlaydigan ikkinchi ion yordamchi manbasiga mos keladi.
Har bir dastur uchun to'g'ri tanlov hech qanday usul yo'q. PVD ning barcha uch turi o'z manfaatlaringizni taqdim etadi va sizning talablaringiz asosida tanlanishi kerak.


