Magnetronli shovqinlarda maqsadli zaharlanish nima? Umumiy ta'sir etuvchi omillar va echimlar nima?

1. Nishon zaharlanish

◆ ijobiy ionni to'plash

Maqsad zaharlanganida maqsadli sirt ustida izolyatsion kino hosil bo'ladi. Ijobiy ionlar katotning maqsad yuzasiga etib kelganida, ular izolyatsiya qatlamining to'sqinlik tufayli to'g'ridan-to'g'ri unga kirib bo'lmaydi, lekin maqsadli sirt ustida to'planadi. Shunday qilib, sovuq maydon osongina ishlab chiqariladi va boshq ariqqa chiroqni yoritadi. Shunday qilib, katotning pasayishi davom eta olmaydi.

◆ Anote yo'qoladi

Maqsad zaharlanganida, izolyatsiyalovchi kino ham tuproqli vakuum kamerasining devoriga yotqiziladi. Anotega etib kelgan elektronlar anodga kira olmaydi va yo'qoladi.

Maqsadli zaharlanishning ta'sir etuvchi omillari

Maqsad zaharlanishiga ta'sir qiluvchi omillar asosan reaktiv gaz va gazning gazga nisbati. Haddan tashqari reaktsiya gazi maqsadli zaharlanishni keltirib chiqaradi. Reaktiv sputtering jarayoni jarayonida maqsadli sirt ustida püskürtme kanali hududi reaktsiya mahsuloti bilan qoplangan yoki reaksiya mahsuloti metall sirtini qayta ochish uchun soyulmuş va qaytib, savdo-sotiq amalga oshiriladi.

Murakkab tarkibining nisbati tarkibdan mahrum bo'lgan nisbatdan katta bo'lsa, tarkibiy qism bilan qoplangan maydon oshadi. Muayyan kuchda birikmalarning hosil bo'lishida ishtirok etadigan reaktiv gazining miqdori ortadi va aralash tarkibining nisbati oshadi. Reaktiv gazining miqdori haddan ziyod oshsa, tarkibiy qism bilan qoplangan maydon oshadi.

Agar reaktiv gazining oqimi o'z vaqtida sozlanaolmasa, unda kompozitsion qamrov zonasining o'sish tezligi bostirilishi mumkin emas va püskürtme kanali, bileşiğin butunlay kapladığı paytda, aralashma tomonidan ham qamrab olinadi. maqsad to'liq zaharlangan.

3. Maqsadli zaharlanishning hal etish

◆ O'rtacha chastota kuchini yoki chastotasi kuchini qabul qiling.

◆ Reaktant gazining miqdorini nazorat qilish uchun yopiq pastadirni qabul qiling.

◆ Ikki maqsadni qo'llang

◆ Kaplama rejimining o'zgarishini nazorat qilish: qoplamadan oldin, maqsadli zaharlanishning histerezis effekti egriini to'plang, maqsadli zaharlanishning old qismida kirish oqimini boshqaring va jarayon har doim chuqurlik darajasi keskin tushib ketishidan oldin rejimda bo'lishi kerak.