Vakuumni tozalash jarayoni Vakuum qoplamali mashinani tozalash jarayoni talablari

Vakuumni tozalash jarayoni vakuumli qoplama mashinasi tozalash jarayonining talablari

Vakuumni tozalash, odatda, vakuum jarayonidan oldin ishlov beriladigan qismdan yoki tizim materiallari yuzasidan kiruvchi materiallarni olib tashlash jarayoni sifatida tavsiflanadi. Vakuum qismlarining sirtini tozalash kerak, chunki ifloslovchi moddalardan kelib chiqqan gaz va bug 'manbai vakuum tizimini kerakli vakuum darajasini topa olmaydi. Bundan tashqari, ifloslantiruvchi moddalar mavjudligi sababli, vakuum komponentlari ulanish quvvati va sızdırmazlık ishlashiga ta'sir qiladi.

A. Vakuumli isitgichni tozalash

Ish qismini an'anaviy bosim ostida yoki vakuumli isitgichda joylashtiring. Tozalash maqsadiga erishish uchun yuzaga uchuvchi begona moddalarni bug'lanishini rag'batlantirish uchun ushbu usulning tozalash ta'siri, ishlov berish qismining atrof-muhit bosimi, vakuumda ushlab turish muddati, isitish harorati, ifloslantiruvchi moddalar va ishlov berish materiallari turlari bilan bog'liq . Ushbu printsip ishchi qismini isitish uchun. Suv molekulalarining desortsiyasi va sirtdagi adsorbtsiyalangan turli uglevodorod molekulalari kuchaytirildi. Desorptsionlikni oshirish darajasi haroratga bog'liq. Ultra yuqori vakuumda atmosfera tozalash uchun sirt 450 darajadan yuqori qizdirilishi kerak. Isitishni tozalash usuli ayniqsa samarali. Ammo ba'zida bu davolanish yon ta'sirga ega bo'lishi mumkin. Isitish natijasida ayrim uglevodorodlar katta agregatlarga to'planib, bir vaqtning o'zida uglerod cürufuna aylanishi mumkin.

B. UVni tozalash

Sirtdagi uglevodorodlar ultrabinafsha nurlanishi bilan ajralib turadi. Masalan, 15 soat davomida havoga ta'sir qilish toza shisha sirtini ishlab chiqarishi mumkin. Agar to'g'ri tozalangan sirt ozon ishlab chiqaradigan ultrabinafsha manbaga joylashtirilsa. Bir necha daqiqada toza sirt (jarayonni tozalash) mumkin. Bu ozon mavjudligi tozalash tezligini oshiradi. Tozalash mexanizmi quyidagicha: ultrabinafsha nurlanish ostida, axloqsizlik molekulalari ogohlantirilib, dissotsiatsiyalanadi, ozon hosil bo'ladi va juda faol atomik kislorod hosil qilish uchun mavjud. Kirning ajralishi natijasida hosil bo'lgan qo'zg'atuvchi axloqsizlik molekulalari va erkin radikallar atomik kislorod bilan reaksiyaga kirishadi. Keyinchalik oddiy, ko'proq uchuvchi molekulalarni hosil qiling. H203, CO2 va N2 kabi. Reaktsiya tezligi harorat oshishi bilan ortadi.

C. deşarjni tozalash

Ushbu tozalash usuli yuqori vakuum va ultra yuqori vakuum tizimlarini tozalash va degassatsiyalashda keng qo'llaniladi. Ayniqsa, vakuum qoplama uskunasida eng ko'p ishlatilgan. Elektr manbai sifatida issiq sim yoki elektroddan foydalaning. Ionni bombardimon qilish va ayrim uglevodorodlarni yo'qotishning gazni desortsiyasi tozalash uchun yuzaga salbiy yanal bosimni qo'llash orqali erishiladi. Tozalash ta'siri elektrod materialiga, geometriyaga va sirt bilan bog'liqlikka bog'liq. Bu seysmik ionlar soniga va ionlarning energiyasiga bog'liq. Bu samarali elektr energiyasiga bog'liq. Vakuum xonasi tegishli qisman bosimdagi inert gaz (odatda Ar gaz) bilan to'ldiriladi. Tozalashning maqsadi ikkita mos elektrod o'rtasida past bosim ostida yorug'likdan tushgan oqimdan ion bombardimonligi bilan amalga oshirilishi mumkin. Usulida. Inert gaz ionlashtiriladi va vakuum kamerasining devorini, vakuum kamerasining boshqa tarkibiy qismlarini va qoplamali substratni bombardimon qiladi, bu muayyan vakuum tizimlarining yuqori haroratda pishirilishiga yo'l qo'ymaydi. Ayrim uglevodorodlarni yaxshiroq tozalash, agar u kislorod gazga qo'shilsa erishiladi. Kislorod osongina vakuum tizimidan chiqariladi, chunki u ba'zi uglevodorodlarni uchuvchi gazga oksidlaydi. Zanglamaydigan po'latdan yuqori vakuum va ultra yuqori vakuumli idishlar yuzasida ifloslantiruvchi moddalarning asosiy komponentlari uglerod va uglevodorodlardir. Umuman, uglerod uchuvchan emas. Kimyoviy tozalanishdan so'ng, Ar yoki Ar + O2 aralash gazini qizdirilgan suvni tozalash uchun introduktsiya qilish kerak, shunda sirtdagi iflosliklarni va kimyoviy harakatlar natijasida yuzaga keladigan gazni olib tashlash mumkin. Yoritgichni tozalashda. Eng muhim ko'rsatkichlar qo'llaniladigan kuchlanish turi (AC yoki DC), oqim kuchlanishi, oqim zichligi, gazning turiga va bosimiga bog'liq. Eng muhim ko'rsatkichlar qo'llaniladigan kuchlanish turi (AC yoki DC), oqim kuchlanishi, oqim zichligi, gazning turiga va bosimiga bog'liq. Eng muhim ko'rsatkichlar qo'llaniladigan kuchlanish turi (AC yoki DC), oqim kuchlanishi, oqim zichligi, gazning turiga va bosimiga bog'liq. Bomba hujumining davomiyligi. Elektrodning shakli va tozalanadigan qismlarning moddiy va holati

D. Gazni yuvish

1. Azotni yuvish

Azot materialning sirtida adsorbsiyalanganida, adsorbsiya vaqti kichik adsorbsiya energiyasi tufayli juda qisqa. Qurilmaning devorida so'ralsa ham, uni olib tashlash oson. Vakuum tizimini tozalash uchun azotning bu xususiyatidan foydalangan holda tizimning nasos vaqtini sezilarli darajada kamaytirish mumkin. Misol uchun, vakuum qoplama mashinasi atmosferaga kiritilishidan oldin quruq azot vakuum kamerasiga to'ldiriladi va undan keyin atmosferaga to'ldiriladi, keyingi nasosning aylanish davrining deyarli yarmi qisqarishi mumkin, sababi azotning adsorbsion energiyasi suv gaz molekulalarining miqdoridan ancha kichik. Azot vakuumga to'ldirilganidan so'ng, azot molekulalari dastlab vakuum xonasining devori tomonidan so'riladi. Adsorbsiyalash joyi barqaror bo'lgani uchun, avvalo, azot molekulalari bilan to'ldiriladi va adsorbsiyalangan suv molekulalari juda kichik, shuning uchun ekstraksiya vaqtini qisqartiradi. Tizim diffuzer nasosining yog'i bilan ifloslangan bo'lsa, ifloslangan tizimni azotli yuvish usuli bilan tozalash mumkin. Umuman olganda, tizimni azot bilan tozalash paytida neftni ifloslantirish tizimi o'chirilishi mumkin.

2. Gazni tozalash reaktsiyasi

Ushbu usul ayniqsa katta ultra yuqori vakuumli zanglamaydigan po'latdan yasalgan tizimlarni ichki tozalash (uglevodorod ifloslanishini yo'qotish) uchun javob beradi. Ba'zi katta miqyosli ultra yuqori vakuum tizimlarining vakuum xonasi va vakuum komponentlari uchun sirtni ifloslanishini bartaraf etishning standart usuli - kimyoviy tozalash, vakuumli pechni qovurish, qizg'in tozalash va original energiya pishirish vakuum tizimi va boshqalar. Atom holatining toza yuzasiga ega bo'lish. Yuqoridagi tozalash va degasatsiya usullari ko'pincha vakuum tizimini o'rnatishdan oldin va undan keyin ishlatiladi. Vakuum tizimini o'rnatganidan (yoki operatsiyasidan) so'ng, vakuum tizimidagi turli qismlarini o'zgartirib bo'lmaydi, chunki ular aniqlangan. Tizim (tasodifan) ifloslangan bo'lsa (asosan uglevodorodlar kabi katta atom raqamiga ega bo'lgan molekulalar tomonidan), odatda uni demontaj qiladi, qayta ishlanadi va qayta o'rnatiladi. Reaksiya gazlari in-situ on-layn gazlash uchun ishlatilishi mumkin. Uning tozalash mexanizmi: oksidlovchi gaz (O2, N0) va kamaytiradigan gaz (H2, N H3) sistemada metall zonada kimyoviy tozalashni atmosferada ifloslanishni bartaraf etish uchun kimyoviy tozalashni amalga oshiradi, bu esa atomik holatdagi toza metall yuzani olish uchun qo'llaniladi. Sirt oksidlanish / kamaytirish tezligi kontaminatsiyalash va metal yuzasidagi materialga bog'liq. Sirt reaktsiyasi darajasi reaksiya gazining bosimi va harorati sozlanishi bilan boshqariladi. Har bir substrat uchun eksperimental aniq parametrlar aniqlanadi. Bu parametrlar turli kristalli yo'nalishlar uchun farq qiladi.

Vakuum qoplama mashinasi tozalash jarayonining talablari

Vakuum materialini ishlov berish vositasi yoki tizim materiallari yuzasidan tozalash uchun vakuum jarayonidan oldin tozalash kerak; Bundan tashqari, vakuum qismlarining sirtini tozalash juda zarur, chunki ifloslovchi moddalardan kelib chiqqan gaz va bug 'manbai vakuum tizimini kerakli vakuum darajasini topa olmaydi. Bundan tashqari, ifloslantiruvchi moddalar mavjudligi tufayli, shuningdek, vakuumli bo'laklarning ulanishining mustahkamligi va yopishqoqligi ta'sir qiladi.

Kirleticiler "har qanday foydasiz moddalar yoki energiya" sifatida tanımlanabilir. Kir yuvish vositalarining jismoniy holatiga ko'ra ular qattiq, gaz va suyuqlikka ajralib turishi mumkin, ular kino yoki bo'shashmas zarralar shaklida mavjuddir. Kimyoviy xossalari jihatidan u ionli yoki kovalent holatda bo'lishi mumkin, u noorganik yoki organik bo'lishi mumkin.

Havoga ta'sir qolgan yuzalar kontaminatsiyaga eng ko'p ta'sir qiladi. Ko'plab ifloslanish manbalari mavjud. Adsorbsionlik, kimyoviy reaktsiyalar, yuvish va quritish jarayonlari, mexanik jarayonlar va diffuziya va ajratish jarayonlari turli komponentlarda sirt ifloslantiruvchi moddalarning ko'payishiga yordam beradi.

Vakuum qoplamasini qayta ishlash zavodiga ko'ra, vakuum materiallari yuzasida umumiy ifloslantiruvchi moddalar quyidagicha:

1. Yog ': ishlov berish, yig'ish va ishlatish jarayonida ifloslangan yog'lar, chiqib ketadigan suyuqliklar, vakuum yog'lari va boshqalar;

2, kislota, gidroksidi, tuzli moddalar: tozalash vaqtida qoldiq moddalar, qo'l terli, suvda minerallar va boshqalar;

3. Er oksidi: uzoq vaqt davomida havoga joylashtirilgan materiallar yoki nam havoda hosil bo'lgan sirt oksidi;

4. Suv bazasi: ish paytida qo'l terlash, shamollash paytida suv bug'i, tuprik va boshqalar;

5, atmosferada havoni tozalash, chang va boshqa organik moddalar.

Ushbu ifloslantiruvchi moddalarni tozalashning maqsadi vakuumli qoplama mashinasining barqarorligini oshirish, bu ishni yanada murakkablashtirishi mumkin. Talablarga muvofiq, tozalangan sirtni ikki turga bo'lish mumkin: atomning toza yuzasi va texnologik toza yuza.

Qoplama materiallaridan foydalanishdan oldin vakuum qoplama mashinasida oddiy sirtni tozalash uchun qoplama materiallari qoplama mashinasining xizmat muddatini uzaytirishi mumkin. Turli ifloslantiruvchi vositalar nafaqat vakuum tizimini kerakli vakuum darajasini ololmaydilar, balki vakuumli bo'lakka ulanishning mustahkamligi va qotirilishiga ham ta'sir ko'rsatadilar. Erta joylarda tozalash ishi juda ko'p muammolarni bartaraf etishi mumkin, ko'plab kichik muammolarni bartaraf etish uchun, ish samaradorligi, vakuumli qoplamali mashinaning qoplama sifati juda ijobiy rol o'ynaydi. Turli ish sharoitlarida vakuum tizimidagi barcha devor va boshqa komponentli yuzalarning ish stabilitesini sezilarli darajada yaxshilaydi.

IKS PVD, agar xohlasangiz PVD qoplamasining oldingi ishini, DVD-vakuum texnologiyasi bo'yicha har qanday savolni siz uchun mos tozalash moslamasini taklif qilishimiz mumkin, biz bilan bog'laning, iks.pvd @ foxmail.com