Ultra yuqori vakuum birligi belgisi va tasniflanadi

10-5pa dan yuqori ishlaydigan ultra yuqori vakuum agregatlari diffuziya pompasini, molekulyar nasosning ultra yuqori vakuumli qismini va yog 'o'tkazmaydigan ultrafiolozli vakuumni o'z ichiga oladi. Jihoz quyidagi xususiyatlarga ega:

Asosiy nasosning maksimal vakuum darajasi 10-7 ~ 10-8pa dan yuqori.

(2) 200 ~ 450 ℃ pishirish yuqori haroratga chiday oladi;

Asosiy nasosning qayta gazining qisman bosimi past bo'ladi.

Yuqori selektivlik bilan ishlaydigan asosiy nasos uchun u etarli darajada katta yordamchi nasos bilan jihozlangan bo'lishi kerak.

(1) diffuziya nasosining ultra yuqori vakuumli birligi

Asosiy nasoslar sifatida diffuziya nasoslari bo'lgan ultra yuqori vakuum agregatlarining vakuumlari 10-7 ~ 10-8pa dir.

Gazning diffuzion nasosning oldingi bosqichidan teskari tarqalish ta'sirini kamaytirish va mexanik nasosning teskari nashrining yakuniy vakuum darajasiga ta'sirini kamaytirish uchun, oldingi bosqichda past nasos tezligiga ega bo'lgan diffuziya nasosidan foydalanish mumkin. siqishni nisbati va teskari diffuziyani kamaytirish uchun diffuziya pompasi. Difüzyon pompasının kirishiga bir titanium süblimasyon tuzoq qo'shilsa, difüzyon pompasından kelgan azot qisman bosimi yanada azaltılabilir va yuqori yuqori vakuum 10-11pa olinadi.

(2) molekulyar nasosning ultra yuqori vakuumli birligi

Ko'pincha molekulyar nasoslardan foydalanadigan ultra yuqori vakuumli qurilmalarning maksimal vakuumlari 10-8pa dir, bu tezkor boshlanish va past neft zaharli chiqishi bilan tavsiflanadi.

Nasoslarning tezligini birlikda suyuq azotli sovuq makkani qo'shib oshirish mumkin. Mexanik nasosning chiqishi suv bug'ining tizimga kirishini oldini olish uchun suv bilan sovuq tuzoq bilan ta'minlangan.

(3) yog'siz ultra yuqori vakuumli birlik

Yog 'bilan ishlaydigan suyuqlik ishlatilmaydigan va organik moddalar bilan yopishtirilmagan vakuumga super bo'lmagan yuqori vakuumli yog' deb nom beriladi. Keng tarqalgan foydalaniladigan asosiy nasoslar orasida kriyojenik nasos, titanium pompası, püskürterek iyon pompası va hokazo mavjud. Yog 'vakuum ünitesiyle taqqoslaganda quyidagi afzalliklari bor:

Toza vakuum va ifloslanish manbasini olish mumkin emas.

Yog'siz vakuum pompasi ishga tushirilganda, oldindan nasos xavfsiz holatga keltirilishi mumkin.

Agar shamollatish to'xtab qolsa, tizim ifloslanmaydi;

Uning ish muhiti yaxshilanadigan yog'i yo'q, shovqin yo'q va tebranish yo'q.

Terminal vakuum darajasi juda yuqori, nasos tezligi yuqori va nasos vaqti qisqa.