Vakuum tizimining odatda turi
Jun 30, 2018| Muayyan jarayonlar talablariga javob beradigan, zarur vakuumni olish va o'lchashga qodir bo'lgan tizimga vakuum tizimi deyiladi. Vakuum kamerasi, vakuum pompasi yoki vakuum agregati, vakuum o'lchash apparati, aloqa kanali, vakuum vana, tuzoq va boshqa vakuum komponentlari va elektrni nazorat qilish tizimidan iborat. Odatda vakuum tizimi shakl 1 va 2-rasmda ko'rsatilgan.
1. Vakuum xonasi vana quvvati 2. Ionizatsiya vakuum o'lchagichi 3. Termojuft vakuum o'lchagichi 4. Oqim regulyatori vana
5. Yuqori vakuum valfi 6. Difüzyon pompası 7. Gaz saqlash sxemasi
8. Termojuft o'lchagichi (bosimning diffuzion pompasi oldindan bosimini o'lchash ) 9. Orqa supap 10. Bosim sensori
11. Oldindan nasosli vana 12. Tomirlarning vakuum pompasi 13. By-pass valfi 14. Elektromagnit qutqaruv valfi
15. Mexanik vakuum pompasi
1-rasm. Odatda vakuum tizimining sxematik diagrammasi
1. Vakuum xonasi 2. Ionizatsiya vakuum o'lchagichi 3. Termokupl vakuum o'lchagichi 4. Deflyatsiya vanasi
5. Yuqori vakuumli vana 6. Sovuq tushirgich 7. Difüzyon pompasi 8. Orqa qopqoq valfi 9. Elektromagnit qutqaruv valfi
10. Mexanik vakuum pompasi 11 Nasos pompasi klapani
2-rasm. Odatda vakuum tizimining sxematik diagrammasi