PVD qoplama uskunasining diskini chiqarish va sovutish tizimi
Mar 31, 2018| Drayv tizimi
Drayv tizimi substratni substratni chuqurlashtirish uchun chuqurlashtirish, qurilmani qayta ishlash tugagandan so'ng qurilmadan chiqishga imkon beradi. Tahrim tizimi haydash vositasidan, aylana g'ildiragidan, chastotali konvertorlardan va boshqalardan iborat. Drayv tizimini qo'shish sabablari quyidagilardir:
(1) Bir xil kalinlikta qoplamalar keng tarqatilishini ta'minlash.
(2) Avtomatik uzatishni oson amalga oshirish.
Sovutish tizimi
Sovutish tizimi asosan maqsadli aylanadigan suv molekulyar nasosidan, kameradan, nasos guruhidan va aylanma motorli sovutish aylanmasidan iborat. Asosiy vazifasi vakuum kamerasini, nasos, haydovchini, elektr ta'minoti va boshqalarni sovitishdir. Sovutish suvining talablari quyidagilardan iborat:
(1) harorat: 17 ~ 22 ° C;
(2) bosim: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Magnit zarralar suvdan chiqarib tashlanishi va suv pH = 6 ~ 8 bo'lishi kerak.