Magnetronli Sputtered Coatingning tengsizlik sababi

Qaysi turdagi vakuumni hisoblash mashinasi bo'lishidan qat'iy nazar, qoplamlarning bir xilligi ma'lum bir omilga ta'sir qiladi.

Magnetronli pushti vakuumli qoplama mashinasining ishlashi elektronlar argon gazidan hosil bo'lgan argon ionlarini bombardimon qilish va vakuum holatida ortogonal magnit maydon tomonidan maqsadni bombardimon qilishdir va maqsadli ionlar ish qismining qoplamani hosil qilish. Shunday qilib, vakuum holati, magnit maydon va argon kino qalinligining bir xilligi bilan bog'liq uch jihat deb hisoblashimiz mumkin.

Vakuum holati havo pompaj tizimi tomonidan nazorat qilinadi. Har bir nasos porti bir xil vaqt davomida bir xil kuchga ega bo'lishi kerak, shunday qilib nasosning bir xilligi ta'minlanishi mumkin. Nasoslar bir xil bo'lmasa, vakuum xonasidagi bosim bir xil bo`lishi mumkin emas, chunki bosim ionlarning harakatiga ta'sir qiladi. Bundan tashqari, nasos vaqtini ham nazorat qilish kerak. Juda qisqasi vakuumning etishmasligiga olib keladi, lekin u juda uzoq vaqt bo'lsa, u resurslarni sarflash bo'ladi. Biroq, vakuum o'lchagichlari mavjudligi zarurdir.

Magnit maydoni ortogonal tarzda ishlaydi, ammo magnit maydonining qizg'inligi 100% gacha bo'lishi mumkin emas. Umuman olganda, magnit maydon kuchli bo'lsa, kino qalinligi katta bo'ladi va aksincha filmning qalinligi barqaror bo'lmaydi.

Argo gazining bir xilligi film qatlamining bir xilligiga ta'sir qiladi. Bu printsip vakuum darajasiga o'xshaydi. Argo gazining kirishi tufayli vakuum kamerasidagi bosim mos ravishda o'zgaradi. Kino qalinligining bir xilligi bir xil bosim orqali nazorat qilinishi mumkin.

Filmning bir-biriga mos kelmasligiga sabab bo'ladigan har doim bir qancha omillar mavjud bo'lsa-da, lekin vakuum qoplama mashinasining to'g'ri ishlashi amalga oshirilsa, filmning passiv darajasi juda yuqori.