Molekulyar nasoslarning tuzilishi va sxematik diagrammasi

Molekulyar nasosning asosiy qismlari aylanadigan pichoqlar va doimiy pichoqlar (1-rasm). Aylanadigan pichoqning aylanish tezligi 1800 dan 90000 rpm ga etadi, pichoq uchidagi tezligi sekundiga bir necha yuz metrga etadi, bu molekulalarning o'rtacha tezligiga yaqin. Va gaz molekulalari egzoz portiga tashlanib, u bilan to'qnashganda. Yuqori tezlikda aylantiriladigan aylanadigan pichoqni egiluvchan tomondan assimilyatsiya tomondan harakatlanadigan gaz molekulalarining ehtimoli A va gaz molekulalarining egzoz tarafidan assimilyatsiya tomoniga o'tish ehtimoli B aylanadigan pichoq gaz molekulalarini uradi, so'ngra gaz molekulalari qattiq pichoqni urib, keyingi qaytib pichoqqa uchadi, nihoyat, gaz molekulasi egzoz portiga chiqariladi va egzoz vazifasini bajarish uchun A> B bo'ladi.

Molekulyar nasosning chiqish tezligi = Shlangi tomonining ochilish maydoni × 11,6 × A / Bp

Formuladan foydalanib, p bosim oshishi qiymatiga ishora qiladi.

Pichoqning burchagi qanchalik katta bo'lsa, egiluvchanlik tezligi siqishni nisbati qanchalik katta bo'lsa. Pichoqning burchagi kichkina bo'lsa, chiqindi tezligi past bo'ladi va siqishni darajasi katta bo'ladi. Molekulyar nasosning chiqish tezligi gaz turiga deyarli ta'sir qilmaydi va nasosning yuqori bosimi 10-8 Pa ni tashkil qilishi mumkin, ammo engil molekulalar / atomlar uchun egilish tezligi kamayadi.

Yuqori aylanish tezligi yuqori bo'lgan mexanik nasosning bir turi sifatida molekulyar nasos yuqori muvozanat talab qiladi va kuchli qattiq moddalarga juda moyil bo'ladi. Odatda uning ichiga metall filtr o'rnatiladi. Molekulyar nasos ishlaganda bosim to'satdan yomonlashsa, pichoqlar zarar etkazilishi mumkin.

1-rasm. Molekulyar nasosning tuzilishi va sxematik diagrammasi

An'anaviy molekulyar nasoslar pichoqlarni yuqori tezlikda aylanishini ta'minlash uchun rulmanlardan foydalanadi. Ammo yangi turdagi molekulyar nasos magnit-levitatsion tizimni qabul qiladi, bu pichoqning tezligini doimiy oshirib boradi va ayni paytda molekulyar nasos ultra yuqori vakuum tizimi uchun ham mos keladi, shuningdek, uning uzunligi xizmat muddatini uzaytiradi. molekulyar nasos.

Yog 'o'tkazgichli rotatorli po'lat quvurlar va turbo-turdagi quruq nasoslar bilan solishtirilganda, molekulyar nasoslarda toza ish muhiti va yuqori vakuum darajasiga erishish mumkin. Ammo, molekulyar nasoslar atmosfera bosimida ishlamaydi va atmosfera bosimida ishlaydigan boshqa qo'pol vakuum nasoslari bilan (moyli yopiq qaytib po'lat pompalar yoki turbo quruq nasoslar) birgalikda ishlatilishi kerak. Molekulyar nasos murakkab struktura va yuqori narxga ega, yuqori tezlikda aylanish paytida tebranish mavjud.