Yopish jarayonida keng tarqalgan bir necha Ion manbalari
Oct 18, 2018| · Kaplanishda ko'pincha ion manbalari qo'llaniladi
Ko'pgina ion manba turlari mavjud bo'lsa-da, bu maqsad on-layn tozalashdan emas, reaktiv gazning energiyasini oshirish uchun qoplama yuzasida energiya taqsimotini va modulyatsiyasini yaxshilashdan iborat. Ion manbai kino va matritsaning bog'lanish kuchini sezilarli darajada yaxshilaydi va filmning qattiqligi va aşınma qarshiligi ham yaxshilanishi mumkin. Agar qoplama vositasining aşınmaya bardoshli qatlami umuman katta bo'lsa va kino qalinligi bir xilligini talab qilmasa, katta ion oqimi va yuqori energiya darajasi bo'lgan ion manbalari, masalan, zal ionlari manbai yoki anodli ion manbai bo'lishi mumkin.
Anote qatlamining ion manbai, zal ionlari manbaiga o'xshash. Tor doiradagi (to'rtburchak yoki dumaloq) bo'lakda ishlaydigan gazni anote ta'sirida va ishlov berish yo'nalishi bo'yicha ionlashtiruvchi magnit maydon qo'llaniladi. Anote qatlamining ion manbai juda katta va uzun bo'lishi mumkin, ayniqsa, shisha qurilish kabi katta qismlarga ishlov berish uchun mos. Anote qatlami ionning manba ionlarining oqimi ham katta. Ammo ion oqimi juda ko'p farq qiladi va energiya darajasi taqsimoti juda keng. Odatda buyumlar, shisha, yostiq, dekoratif ish qismlariga qo'llaniladi. Lekin ilgari optik qoplamani qo'llash juda ko'p emas.
Kaufman ion manbai - ion manbasini erta qo'llashdir. U grid ion manbasiga mansub. Birinchidan, katot ion manbai kamerasida plazma hosil qiladi va keyinchalik plazma kavisidan ionlar ikki yoki uchta anote ionlari bilan chiqariladi. Bu turdagi ion manbasi kuchli vakolatlarga ega va vakuumli qoplamada keng qo'llanilishi mumkin bo'lgan ionli energiya kontsentratsiyasiga ega. Salbiy tomoni shundaki, katot (odatda volfram) reaktsiya gazida tezda yoqiladi va katta ion oqimiga muhtoj bo'lgan foydalanuvchilar uchun noqulay bo'lishi mumkin bo'lgan ion oqimiga cheklovlar mavjud.
Hall ioni manbai - jarayonning gazli ionlashuvi bilan kuchli aksiyali magnit maydonidagi anotdir. Ushbu eksenel magnit maydonning kuchli muvozanati gaz ionlarini ajratadi va ion nurini hosil qiladi. Eksenel magnit maydon juda kuchli bo'lgani uchun, ion oqimini zararsizlantirish uchun elektron ion manbai ion nurlari to'ldirish kerak. Umumiy neytrallanish manbai volfram filamentidir (katot).
Hall ion manbai xususiyatlari:
1. Oddiy va bardoshli;
2. Ioniy oqim deyarli gaz oqimi bilan mutanosib, katta ion tokini olish mumkin;
3. Volfram filamenti umuman chiqadigan joyga joylashadi va ion nurlarining ta'sirini tezda yo'qotadi, ayniqsa reaktiv gazlar uchun 10 soat ichida almashtirish kerak. Va volfram filamanidan ba'zi ifloslanishlar bo'ladi. Volfram simining nuqsonlarini bartaraf etish. Katodli katodli manbalar kabi uzoq hayot neytralizatorlari mavjud.
Hall ion manbai - eng ko'p ishlatiladigan ion manbai.
IKS PVD ion manbalariga qo'llaniladi.
Agar aşınmaya bardoshli dekoratif kino qoplama, kino qalinligi va kuchli tananing yopishtirilishi kerakligi va bir xil talablar yuqori bo'lmasa. Hall ion manbai mavjud. Ionning oqimi katta va ion energiyasi darajasi yuqori. Agar u optik kino bilan qoplangan bo'lsa, ion oqimining energiya kontsentratsiyasining asosiy talablari, ion tokining bir xilligi. Shuning uchun Kaufman yoki RF ionlari manbasini va ECR (elektron siklotron) yoki ICP (indüksiyon kuplaj) ion manbasini shartli ishlatish eng yaxshisidir. Bundan tashqari, taxminan 10 soat ichida reaktsiya gazida yoqiladigan halogen simlari kabi sarflanadigan narsalarni nazarda tuting. ICP kabi ilg'or ion manbalari yuzlab soat davomida reaktiv gazlarda doimiy ishlaydi.
Yopilgan chiroq alyuminiy plyonkalari. Metall plyonka bo'lgani uchun, albatta, DC magnetronli pog'ona yaxshi. Tezlik tez. O'rtacha chastotalar aralash filmni qoplash uchun javob beradi. Agar siz ion manbasini tanlasangiz, ion manbai etarli. Lekin chiroq o'lchoviga e'tibor bering. Odatda zal ionlarining manbai dumaloq, ion manbai bilan qoplangan maydon cheklangan. Barcha ish qismlarini ion nurlari bilan qoplashingiz kerak. Oddiy ion manbai juda kichik bo'lsa, anote qatlami ioni manbai ko'rib chiqilishi mumkin. Ion manbalaridan birining sababi shundaki, magnit maydon plazmani qo'zg'atish uchun juda zaifdir. Ion manbalarining ko'p turlari mavjud, ammo asosan plazma hosil qiladi, so'ngra plazmadagi gaz ionlarini chiqaradi va ularni ion nurlariga tezlashtiradi, so'ngra elektronlar va ion oqimini yuborish uchun orqada ko'rish.