DLC qoplamasining muammolari va echimlari
Mar 20, 2018| DLC qoplamasining xususiyatlari
DLC ning ishlashi olmos va grafit o'rtasida bo'lib, bu ham yuqori qattiqlik va mukammal ishqalanishni, hamda yaxshi yopishqoq xususiyatlarini ko'rsatib beradi.
◆ Mexanik xususiyatlar:
Oliy qattiqlik, yuqori elastiklik moduli, yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, past issiqlik kengaytirish koeffitsienti, past zichlik, mukammal aşınma qarshiligi va kam ishqalanish koeffitsienti.
◆ Elektr xususiyatlari:
Past elektronli yaqinlik, yuqori elektr qarshiligi, past dielektrik sig'imi
◆ Optik xususiyatlari:
Ko'zda tutilgan nur va infraqizil hududlarda yuqori o'tkazuvchanlik, kam optik tarmoqli bo'shlig'i, sinishi ko'rsatkichi 1,7 dan 2,4 gacha, yuqori lazer ziyonni chegara hisoblanadi.
◆ Kimyoviy xususiyatlari:
Yaxshi biyouyumluluk, ultra yuqori kimyoviy inertlik, kislota va gidroksidi qarshilik, yaxshi hidrofobiklik.
DLC qoplamasining muammosi va echimi
Muammolar
◆ Yuqori ichki stress
Oddiy sharoitlarda, ichki stres, elastik modul va qoplamaning qattiqligi bir-biriga bevosita orantılıdır, shunday qilib qoplamaning qattiqligi ichki stresin qanchalik katta. DLC filmi DLC filmining substratga yopishishini kamaytiradigan yuqori ichki stress bilan bir qatorda, yuqori qatlamlik darajasiga ham ega, shuningdek, substratga biriktirilishi mumkin bo'lgan qat'iy kino qatlamining maksimal qalinligini cheklaydi. Bundan tashqari, kino qalinligining bir xilligi ham ichki stressga ta'sir qiladi.
◆ Yomon termal stabillik
DLC odatda metastabel fazli kristal bo'lmagan tuzilishga ega. Shuning uchun harorat ko'tarilganda DLC qoplama grafitlanadi, ya'ni sp3 aloqasi sp2 aloqasiga aylanadi, natijada DLC qoplamasining tuzilishi va ishlashi o'zgaradi.
Echimlar
◆ Ko'p qatlamlik film
Substratdagi ko'p qatlamli Ti / TiC / DLC va Ti / TiN / TiCN / DLC qatlamlari DLC qoplamasi va substrat o'rtasida ichki stressni sezilarli darajada kamaytirishi mumkin.
◆ Gradient filmi
Ichki manbalar yordamida ion manbai va püskürtme biriktirme texnologiyasi bilan Cr / CrN / CrNC / CrC / Cr-DLC va Ti / TiN / TiCN / TiC / Ti-DLC konvansiyon gradyanı o'tish tabakalari, stressni faol ravishda berishi va qoplama va substrat.
◆ Doping
Metall bo'lmagan (N, B, Si) doping DLC qoplamasining ichki stresini pasaytirishi va uning termal stabilligini yaxshilashi mumkin. Va doping (Cr, Ti, V) DLC qoplamasining qattiqligini va aşınma direncini yaxshilaydi va uning ishqalanish koeffitsientini kamaytiradi.