Holl Ion manbaining printsipi va qo'llanilishi

Holl ion manbasining printsipi va qo'llanilishi

Ion manbalaridan foydalanish printsipi

Ion manbai turi

Ion energiyasiga ko'ra, quyidagilarga bo'linadi:

APS, Rf, Kaufman ion manbai kabi yuqori energiya 200 va undan yuqori;

Hall ion manbai past energiya 200 gacha

Teg bo'yicha bo'linadiganlar:

Kaufman turi va Zal turi

Ion manbalari qanday ishlaydi

Haqiqiy zich muhitda vakuum kamerasiga to'ldirilgan gaz elektr va magnit maydonlarining o'zaro ta'siri ostida emissiya qilingan elektronlar yordamida o'chiriladi va elektr va magnit maydonlarining ta'sirida ionlar chiqariladi.

Zalni ion manbai tuzilishi printsipi
Komponentlar:
Katod - elektronlar chiqaradi
Anote - ion ishlab chiqaradi
Gaz yo'li - ionlashtirilgan gazni ta'minlaydi
Elektr ta'minoti

Hall ionlarining manbai

Kaufman ionining manbai

Ion manbalarining ion energiyasi:

Split kaufman ion manbai: anote va grid o'rtasidagi kuchlanishdir
Hall ion manbai: anod kuchlanishining 65-70%

IKS PVD, IET qoplama uskunalari: iks.pvd@foxmail.com