PECVD uskunasining umumiy muammolari va davolash choralari - yonib ketmaslik
Jul 01, 2023| Yoritishning sabablari va davolash choralari:
(1) RF quvvat manbai noto'g'ri bo'lsa, RF manbasining quvvat chiqishi normal yoki yo'qligini tekshiring.
(2) Reaksiya gazini qabul qilish hajmi kichik, gaz oqimi o'lchagichning normal yoki yo'qligini tekshiring, agar normal bo'lsa, sinov uchun qabul qilish hajmini oshiring.
(3) bo'shliq plitasining tozaligi etarli emas, bo'shliqning yuqori va pastki plitalarining erga qarshiligini o'lchash uchun multimetrdan foydalaning, normal qiymat o'nlab megohmdan yuqori bo'lishi kerak, agar g'ayritabiiy bo'lsa, bo'shliq plitasini tozalang.
(4) RF mos keladigan sxema noto'g'ri bo'lsa, RF manbai aks ettirilgan quvvat normal diapazonda yoki yo'qligini tekshiring. Agar u g'ayritabiiy bo'lsa, mos keladigan palladagi kondansatör va indüktans buzilganligini tekshiring.
(5) Vakuum darajasi juda yomon, bo'shliqning vakuum darajasi normal yoki yo'qligini tekshiring.
IKS PVD kompaniyasi, dekorativ qoplama mashinasi, asboblarni qoplash mashinasi, DLC qoplama mashinasi, optik qoplama mashinasi, PVD vakuumli qoplama liniyasi, kalit loyihasi mavjud. Biz bilan hozir bog'laning, E-mail: iks.pvd@foxmail.com
