Vakuumni qoplash uskunasi haqida ma'lumot, yangi odam uchun uni saqlang

Vakuumli qoplama uskunalari haqida bilish, uni yangi odamga saqlash

IKS PVD, PVD vakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqarish, hozir biz bilan bog'laning, iks.pvd @ foxmail.com

1. Vakuumli qoplama vositalari nimani anglatadi?

Vakuumli qoplama uskunalari asosan vakuum ionlarining bug'lanishiga, magnetronli pushtirishga, MBE molekulyar nurli epitaksiyaga, PLD lazerining chayqalib ketishiga va shunga o'xshash ko'plab turlarni o'z ichiga olgan holda, yuqori vakuum darajasida bajarilishi kerak bo'lgan qoplamaning turiga tegishlidir. Asosiy g'oya bug'lanish va shilimshiqlikka bo'linadi.

Kaplantirilishi kerak bo'lgan narsa substrat deb nomlanadi va qoplangan materialga maqsadli material deyiladi. Substrat maqsadli material bilan vakuum xonasida joylashgan.

Bug'lanish qoplamasi, odatda, maqsad materialni isitadi, ya'ni atom guruhlari yoki ionlari shaklidagi sirt komponentlari bug'lanadi va kino hosil qilish jarayonida substrat yuzasida birikadi (tarqoq - orol strukturasi - vagal strukturasi - qatlamlarning o'sishi) film yaratish. Sputtering qoplamasi uchun, maqsadli materialni elektron yoki yuqori energiyali lazer bilan bombardimon qilish va sirt komponentlarini atom guruhlari yoki ionlari shaklida pufaklash va oxir-oqibat substrat yuzasiga yotqizish, kino hosil qiluvchi ortiqcha bug'lanadigan qoplama uskunalari + qoplamali mahsulot diagrammasi bug'lantirish qoplama uskunalari + qoplamali mahsulot diagrammasi va nihoyat kino yaratish.

2. Bosqichlar yordamida vakuum qoplama uskunalari

(1) Elektr boshqaruv kabinetining ishlashi

1) ochiq suv nasos va gaz manbai

2) Umumiy quvvat manbaini oching

3) V2 ishlaydigan nasosni, vakuum o'lchagichni qayta joylashtiring, V1 vakuum o'lchagichli fayl manzilini oching va keyingi operatsiyani bajarishdan oldin uning qiymatini 10 dan kam kuting. Taxminan besh daqiqa davom etadi.

4) Mexanik nasosni ishga tushiring, tayyorlang, turbinadagi molekulyar nasosning quvvatini yoqing va ishga tushiring. V2 holatiga vakuum o'lchagichini o'zgartiring va nasosni 2 dan kam, taxminan 20 daqiqagacha qoldiring.

5) Turbin molekulyar nasos 250 o'qib chiqib, nasosni yoping, oldingi mashinani va yuqori vanani oching va vakuumni nasos bilan davom eting. Vakuum muayyan darajaga yetgandan keyin, vakuum darajasini kuzatish uchun o'ngdagi yuqori vakuum ko'rsatkichni ochish mumkin. Qurol kuchi yoqilishi uchun vakuum 2 x 10-3 ga etadi.

(2) DEF-6B elektron qurol quvvat kabinining ishlashi

1) Asosiy quvvatni yoqing

2) Elektron qurol nazorat qilish tizimiga ko'ra , qurol nazoratini S va qurolni nazorat qilish Ⅱ kuchini bir vaqtning o'zida yoqing. Suvni uzatish, uzilishni tugatish, kechikish, kuch va nurni himoya qilish uchun vaqtni kechiktirgandan keyin uch daqiqa o'tgach, orqa eshik yopiq bo'lsa yoki oqim o'rni bilan ishlamasa, himoya qilish odatdagidek bo'ladi.

3) Yuqori kuchlanishni oching, yuqori kuchlanish 10 kV dan oshadi, radius oqimini taxminan 200mA ga, parda panjasi 20V / 100mA, filaman oqimi 1,2a, buralish oqimining 1 va 1,7 oralig'ida sozlanishi.

(3). Uni o'chirish tartibi

1) Yuqori vakuum ko'rsatkichini yoping, molekulyar nasosni yoping.

2) Molekulyar nasos 50 ga ko`rsatilsa, yuqori gradusli, oldingi bosqich va mexanik nasosni bir-birini to`xtatib turing, bu taxminan 40 minutni tashkil etadi.

3) 50 yoshdan past bo`lganda xizmat nasosini o'chiring.

3. Vakuumli qoplama uskunalari qo'llanmasi

(1) Qurilish uskunalari: hammom uskunalari (suv shlangi kabi), eshik qulfi, eshik tutqichi, hammom, eshik qulfi, apparat barglari, mebel va boshqalar.

(2) soat ishlab chiqarish sanoati: tomosha qilish uchun, tomoshabin qoplamasi, kristall mahsulotlari uchun foydalanish mumkin.

(3) Boshqa uskuna: charm uskunalari, zanglamaydigan po'latdan dasturxon, ko'zoynak ramkalar, pichoqlar, qoldiqlar va boshqalar.

(4) Katta ish joyi: avtomobil g'ildiragi, zanglamaydigan po'lat plitalar, tabela, haykal va boshqalar.

(5) zanglamas po'latdan yasalgan quvurlar va plitalar (turli sirt turlari)

(6) Mebel, lampalar, mehmonxona buyumlari

(7) Qulfni, qo'lini, hammom apparatini, golf boshini, zanglamaydigan po'latdan dasturxonni, qonni va boshqa qattiq materiallar bilan juda qattiq dekorativ plyonka bilan qoplangan.

(8) Ko'zoynak, zargarlik buyumlari va boshqa aksessuarlar ultra tolaga chidamli dekoratsiya (oltin va kumush) nano-kino, nano-kino va nano-laminali plyonka bilan qoplangan.

4. Xizmat va parvarish usullari

(1) Vakuum qoplama uskunalari studiyani 200 yoki undan ortiq marta qoplamali usuli tugallangach tozalash kerak.

Bu usul quyidagicha ta'riflanadi: vakuum devorini NaOH to'yingan eritmasi bilan takrorlab, (inson terisi kuyish emasligi uchun gidroksidli eritma bilan bevosita aloqa qila olmasligini e'tiborga oling), maqsad qoplamali kino materialining alyuminiy (Na) bilan reaksiyaga kirishishdir Reaksiya natijasida kino qatlami tushadi va vodorodni chiqaradi. Vakuum kamerasini toza suv bilan tozalang va kirni nozik ekstraktsiya vannasining ichki qismida, benzinda namlangan mato bilan tozalang.

(2) Qo'rqinchli nasos (aylanma vana pompasi, qaytib po'lat pompasi) bir oy davomida uzluksiz ishlaganda (yarim yilda yomg'irli mavsumda) yangi yog'ni almashtirish kerak.

Usul quyidagicha: vintlardek ochilgan yog 'murvatlari, eski yog'ni chiqarib tashlang va undan keyin bir necha soniya davomida nasosni ishga tushiring, shunda nasosdagi eski yog' to'liq tushiriladi. Qaytib yog 'murvatini vintni va yangi yog'ni miqdori (neft ko'zgusida kuzatilgan) uchun qo'shing. Yarim yildan ko'proq vaqt davomida uzluksiz foydalanish, yog'ni almashtirishda neft qopqog'ini ochish kerak.

(3) Diffusion nasos ketma-ketlikdan olti oydan ortiq vaqtni ishlatadi, nasosning tezligi sezilarli darajada sekinroq yoki noto'g'ri ishlaydi, havo va pastga ulangan trubalarni, elektr plitani to'ldiradi, birlamchi ko'krak uchidan siqiladi, birinchi navbatda tozalash uchun deterjan suv bilan tozalanishi va keyin toza suv bilan yaxshilab tozalanishi, namlik quruq pompadan so'ng quruqlashishi, yangi yog 'difüzyon pompası qo'shilishi va tanaga, ulangan quvurlarga o'rnatilgan elektr pechka diskini qayta boshlash uchun qayta boshlanishi mumkin. Mashinani qayta yoqishdan oldin qochqinlarni aniqlashga e'tibor bering. Usul: parvarish pompasini ishga tushiring, eshikni yoping, bir necha daqiqadan so'ng, vakuumning diffuziya pompasi qismini 6X10 Pa ga qadar yoki oqishning oldini olish uchun kuzating. Qopqoqning muhrlangan halqa bilan ta'minlanganligini yoxud sızdırmazlık halqasini ezilganligini tekshiring. Isitishdan oldin potentsial gaz sızıntısını olib tashlang, aks holda difüzyon pompası yog 'halqasini yoqadi, ish holatiga kira olmaydi.