Vakuum qoplamali mashinani sotib olish uchun kalitlar

Vakuumli qoplama mashinasini sotib olishning asosiy nuqtalari quyidagilardan iborat:

1. Vakuum tizimi mexanik nasos, diffuziya pompasi, nasosli nasos pompasi, ildiz pompasi, turbo molekulyar nasos va turli xil mos keladigan pnevmatik vana, qo'lda vana, elektr vanalar, quvurlar va boshqalardan iborat.

2. Termal bug'lanish, elektron nurlari bug'lanishi, magnetronli chayqalish, magnetron reaktiv porlash, ion qoplamasi, oyoqli katodli ion qoplamasi, ko'p ariqli ion qoplamasi va boshqalar. Kabi jarayonlar talablariga muvofiq turli spetsifikatsiyalar va turlari bo'yicha qoplama uskunalarini tanlash.

3. Olovli tanasi zanglamas po'latdan, karbonli po'latdan yoki ularning kombinatsiyasidan iborat bo'lgan ikki qavatli suv sovutgichli tuzilishga ega bo'lishi mumkin.

4. Qaytish, orbita harakati va aylanish + orbita harakatini o'z ichiga olgan qisqich ishlaydigan rejimi. Foydalanuvchilar substratning o'lchami va shakli bo'yicha aylanish tezligi, aylanish diapazoni va aylanishning aniqligi, va hokazo kabi tegishli talablarni bajarishi mumkin.

5. Shamollatish tizimi ommaviy oqim taymerlari, suzuvchi oqim o'lchagichi + igna vana o'lchagichi va mos keladigan zaryadlovchi valf bo'lishi mumkin, foydalanuvchilar shuningdek bir nechta gaz quvurlari va mos keladigan oqim parametrlarini tanlashi mumkin.

6. Process talablariga muvofiq qoplama usulini va qoplama shaklini tanlashda vakuum o'lchash tizimi raqamli aqlli vakuum o'lchagichi va yuqori sifatli o'lchash o'lchagichlari va boshqa o'lchov asboblari bo'lishi mumkin. Film qalinligi o'lchov tizimi qarshilik qarshiligini o'lchaydigan o'lchov taymerlari, penetrasyon darajasi o'lchagich va boshqalar bo'lishi mumkin.

7. Uskunaning xarakteristikalariga muvofiq, nazorat qilish tizimi qo'lda bo'lishi mumkin yarim avtomatik boshqarish usuli, to'liq avtomatik boshqarish usuli yoki ularning kombinatsiyasi.

8. Vakuum xonasi tanasi, suv tanqisligi, diffuziya pompasi etishmovchiligi, havo bosimi, haddan tashqari kuchlanish, ortiqcha oqim va boshqa anomaliyalar sharoitida tovushli signallarni berishi mumkin bo'lgan mukammal signal tizimi.