Ion qoplamasi

Ionning qoplamasi tamoyili

Ion qoplamasi vakuum sharoitida ionlashtiradigan gazlarga yoki bug'langan materiallarga gazni tushirishdan foydalanishni anglatadi. Gazli ionlarning yoki bug'langan materiallarning ion bombardimonligi ta'sirida ishlov berish qismidagi bug'lanish materiallari yoki ularning reaktivlari. Ion qoplamasi magnetronli ion qoplamasi, reaktiv ion qoplamasi, ichi bo'sh katodli deşarj ion qoplamasi (ichi bo'sh katodli bug'lanish), ko'pqavzali ion qoplamasi (katodli yassi qoplamasi) va boshqalarga bo'linishi mumkin. Ion qoplamasi nafas olishni, plazma texnologiyasini va vakuumli bug'lanish texnologiyasini birlashtiradi, bu nafaqat qoplamaning ish faoliyatini sezilarli darajada oshiribgina qolmay, balki qoplama texnologiyasini juda kengaytiradi. Vakuum pufaklanishining afzalliklaridan tashqari, u kuchli kino o'tkazuvchanligi, yaxshi diffraktsiya, qoplamali materiallarning keng assortimenti kabi afzalliklarga ega. Ionlashning asosiy printsipi - bu metallning yoki qotishmaning bug'ini inert gazning yorug'ligi yoki arqosi bilan ionlashi. Ion qoplamasi qoplama materiallari (TiN va TiC kabi) isitish, bug'lanish va cho'kindi jarayonlarini o'z ichiga oladi. Bug'langan qoplama materiallari atomlari yorug'lik hududidan o'tayotganda oz miqdorda ionlashtiriladi va elektr maydon ta'sirida ishlov beriladigan qismga uchib ketadi, ishlov berish qismining yuzasiga bir necha ming elektron vodorod energiyasi bilan uriladi va uni AOK mumkin. substratni taxminan bir necha nanometr chuqurlikka Shuning uchun qoplamaning yopishtiruvchi kuchi sezilarli darajada yaxshilanadi va noonizatsiyalanmagan bug'langan moddalar atomlari to'g'ridan-to'g'ri ishlov beriladigan qismga joylashadi. Ishlov berish qismida yuzaga keladigan inert gaz ionlari va qoplamali moddalar ionlarining porlashi, shuningdek, biriktiruvchi kuchni yaxshilash uchun ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlashi mumkin.

Ionning qoplamasining afzalliklari

1. Kuchli diffraktsiya qobiliyati

Ion qoplama jarayonida bug'lanadigan materialning zarralari elektr maydonidagi zaryadli ionlar shaklida quvvat liniyasi yo'nalishida harakat qiladi. Shuning uchun, elektr maydoni bo'lgan har qanday qism to'g'ri qoplama qoplamasini oddiy yo'nalishda olish uchun oddiy vakuum qoplamasidan ustun bo'lgan yaxshi qoplamali qatlamga ega bo'lishi mumkin. Shunday qilib, ushbu usul ichki teshik, qopqoq va qoplamali qismlardagi tor oraliqdagi qoplamalar uchun juda mos keladi. Oddiy vakuumli qoplama usuli faqat to'g'ridan to'g'ri sirtni qoplashi mumkin. Bug'lash zarralari faqat toqqa chiqishga zinapoyaga aylanishi mumkin. Ammo ion qoplamasi orqa va ichki teshiklarni teng ravishda qoplashi mumkin. Taqiqlangan ionlar, vertolyotlarda o'tirgan kabi, o'zlarining faoliyat doirasidagi biron-bir joyda belgilangan yo'nalishlar bo'ylab ucha oladilar.

2. Yuqori sifatli qoplamalar

Ion bilan qoplangan qoplama zich, pinholsiz, qabariqsiz va qalinligida bir xil. Hatto yuzalar va oluklar ham metalurjisiz bir tekislash mumkin. Tarmoqlar kabi qismlar ham qoplangan bo'lishi mumkin. Ushbu usul shuningdek, qoplamali qismlarning sirt sifati va jismoniy va mexanik xususiyatlarini samarali ravishda yaxshilashga imkon beradigan material yuzasida yoriq va chuqurliklar kabi nuqsonlarni tuzatishi mumkin. Charchoq sinovlari shuni ko'rsatadiki, to'g'ri ishlov berilsa, ishlov beriladigan qismning charchoq muddati qoplamadan oldin 20% ~ 30% gacha bo'lishi mumkin.

3. Ion qoplamali tozalash jarayoni soddalashtirilgan

Mavjud qoplama jarayonlarining aksariyati oldindan murakkab va qimmat bo'lib, ishlov berish qismini qattiq tozalashni talab qiladi. Biroq, ion qoplama jarayonining o'zi ion bombardimonli tozalash ta'siriga ega va bu ta'sir butun qoplama jarayonida davom etadi. Tozalash ta'siri juda yaxshi va qoplama to'g'ridan-to'g'ri substratga yaqinlashtirilishi mumkin, bu esa amalni yaxshilaydi va ko'p miqdorda oldindan qoplangan tozalash ishlarini osonlashtiradi.

4. Keng ko'lamli materiallarni qoplash mumkin

Ion qoplama usuli ishlov berish yuzasini bombardimon qilish uchun yuqori energiyali ionlardan foydalanadi, shuning uchun katta miqdorda elektr energiyasi ishlov berish qismida issiqlik energiyasiga aylanadi, shu bilan sirt to'qimalarining ko'payish kimyoviy reaktsiyalariga yordam beradi. Shu bilan birga, barcha ishlov berish qismi, ayniqsa ishlov beriladigan qismning yadrosi yuqori haroratlardan ta'sir qilmaydi. Shuning uchun, bu qoplama jarayoni yanada kengroq ilovalarga ega va u kamroq cheklangan. Umuman olganda, turli metallar, qotishmalar va ma'lum sintetik materiallar, izolyatsion materiallar, issiqlikka sezgir materiallar va yuqori erish nuqtasi materiallari qoplanishi mumkin. Metalldan metall yoki metallni metall buyumlar ustida, metall bo'lmagan yoki ishlamaydigan metall buyumlar ustida, hatto plastmassa, kauchuk, kvarts, keramika va boshqalar.