Magnetron purkash jarayoni parametrlarining ta'siri -N2 oqim tezligi

Magnitronli chayqalish jarayoni parametrlarining ta'siri -N2 oqim tezligi

(Cr,Ti,Al) N to'rtlamchi qoplamaning kimyoviy tarkibi, mikro tuzilishi va turli xossalari N2 oqim tezligini o'zgartirish orqali sozlanishi mumkin. Tadqiqotchilar N2 oqimining ko'payishi bilan (Cr, Ti, Al) N qoplamasining N tarkibi va nitridning qattiq fazasi miqdori ortib borishini aniqladilar va qattiqlik, elastik modul, yuk ko'tarish qobiliyati va plyonka asosini bog'lash kuchi. qoplama ham shunga mos ravishda oshadi, bu esa sirt pürüzlülüğü, ishqalanish omili va qoplamaning aşınma tezligini samarali ravishda kamaytirishi mumkin. Qoplamaning aşınma qarshiligini sezilarli darajada yaxshilang [57-58]. Shu bilan birga, N2 oqimining yanada oshishi bilan chayqalish bosimi ortadi, ionlarning o'rtacha erkin yo'li kamayadi va ionlarning energiya yo'qotilishi ortadi, bu kristallanish sifatiga va qoplamaning plyonka hosil bo'lishiga ta'sir qiladi, natijada qoplamaning qattiqligi [59]. Tadqiqotchilar, shuningdek, N2 oqimining oshishi bilan (Cr, Ti, Al) N to'rtlamchi qoplamalarning cho'kish tezligi birinchi navbatda ortib, keyin pasayish tendentsiyasini ko'rsatdi [60]. Buning sababi, N2 ning oqim tezligini oshirish maqsadli zarrachalarning N2 bilan reaksiya darajasini oshiradi va shu bilan qoplamaning cho'kish tezligini oshiradi. Shu bilan birga, N2 oqim tezligining oshishi, shuningdek, püskürtme bosimini oshiradi va zarrachalar nurining tarqalish ta'siri (shu jumladan nishonni bombardimon qiluvchi zarrachalar va plyonka hosil qiluvchi sirtga yotqizilgan zarralar) kuchayadi, natijada zarrachalar soni kamayadi. yotqizilgan zarralar vaqt birligida substrat yuzasiga etib boradi, shuning uchun qoplamaning cho'kish tezligi ham pasayish tendentsiyasini ko'rsatadi. Bundan tashqari, juda yuqori N2 qisman bosimi nishon yuzasida ko'proq nitrid fazalarining paydo bo'lishiga olib keladi, bu maqsadli zaharlanish darajasini oshiradi, bu ham qoplamaning cho'kish tezligiga ta'sir qiladi.

IKS PVD kompaniyasi, dekorativ qoplama mashinasi, asboblarni qoplash mashinasi, DLC qoplama mashinasi, optik qoplama mashinasi, PVD vakuumli qoplama liniyasi, kalit loyihasi mavjud. Biz bilan hozir bog'laning, E-mail: iks.pvd@foxmail.com