HiPIMS Texnologiyalar Umumiy Tasavvur
Jun 21, 2018| Magnetronli porlash texnologiyasi nozik kinolarni tayyorlash sohasida keng qo'llaniladi. Dekorativ qoplamalar va asboblarni qoplash uchun qo'llaniladigan dasturlar nisbatan keng tarqalgan.
Biroq, magnetronli porlashni qayta ishlash texnologiyasi juda ko'p cheklovlarga ega. Misol uchun, porlash oqimi katta bo'lganida, magnetronli pushtirish maqsadidagi quvvat zichligi maqsadli issiqlik yuki bilan cheklangan bo'lsa, maqsadni haddan tashqari musbat ionlar bilan bombardimon qilish porlashning maqsadini haddan tashqari qizib ketishiga va yoqilishiga olib kelishi mumkin. Bundan tashqari, cheklangan chayqaladigan energiya va past metallli ionizatsiya darajasi ham Kamchiliklari mavjud.
So'nggi yillarda mamlakatda va chet elda yuqori quvvatli impulsli magnetronli pushti texnologiya (HiPIMS) texnologiyasi ishlab chiqilgan bo'lib, bu cheklov ancha zaiflashdi. Yuqori quvvatli impulsli magnetronli porlashning maksimal kuchi oddiy magnetronli porlashning taxminan 100 barobaridir. Sputtered materialning ionizatsiya darajasi juda yuqori va bu juda katta ionlangan shamlardan katta zarralar yo'q. Shunday qilib, yuqori sifatli filmni HiPIMS texnologiyasi yordamida osongina olish mumkin.
Pulse harakati muddati bir necha yuz mikrosaniyadan iborat bo'lganligi sababli, HiPIMS ning o'rtacha quvvatini magnetronli maqsadli sovutish talabi ortmaydi, shuning uchun oddiy magnetronli porlash bilan taqqoslanadi. Yuqori quvvatli impulsli magnetronli porlashning tezkor kuchi yuqori bo'lsa-da, uning o'rtacha kuchi yuqori emas, shuning uchun u keng qo'llanilishi mumkin.