Elektron nurlanish bug'lanish tizimlari

Elektron nurlari va termal bug'lanish tizimlari. Sayyora yoki oddiy aylanish bosqichlari substratning o'lchamiga va materialga bog'liq ravishda 950 ° S dan yuqori haroratlarda isitishni o'z ichiga olishi mumkin. IBAD uchun Ion manbalari va substratni oldindan tozalash tizimlarga ham qo'shilishi mumkin. Bug'lanish tizimlari to'liq nasos stantsiyalari, qo'lda yoki elektro-pnevmatik vanalar, barcha vakuum o'lchagichlar, quvvat tarqatuvchi quti, elektron raxlar, suv va havo manifoldlari va xavfsizlik eshiklari bilan birga keladi. Tizimlar qo'lda yoxud kompyuter nazorati orqali boshqarilishi mumkin. Substrat isitgichlar va manipulyatorlar nostandart substrat shakllari va o'lchamlari uchun mo'ljallangan bo'lishi mumkin. Dasturlarga asosiy materiallarni tadqiq qilish, SAW apparatlari, kremniy va GaAs gofrli metallizatsiyasi, MEMS yoki ekran texnologiyasi va boshqalar kiradi.

Ko'p tizim variantlari, jumladan, elektron nurlari va termal manbalar, quvvat manbalari, ion nurlari yoki magnetronli porlash manbalari, RGA, UHV qobiliyati, ko'p gofretli yuk qulflari va in-situ monitorlar integratsiyasi mavjud.