Molekulyar nasoslarni rivojlantirish tarixining rivojlanish tarixi
May 23, 2018| 1. Erta molekulyar nasos
1912 yili W. Gaey ismli nemis dunyoda birinchi molekulyar nasos ixtiro qildi, uning rotor diametri 50mm va rotorlarda turli o'lchamdagi 8 ta uy mavjud. Qaytib tezligi 12,000r / min, va yurishi tezligi taxminan 1,5 L / s dir. Ushbu erta nasosning ish printsipi zamonaviy molekulyar nasosga o'xshashdir, biroq u ommalashtirilmaganligi sababli ko'plab qobiliyatsizlik tufayli tezda bartaraf etiladi.
1926 yili M. Siegbahn Shvetsiyada universitet laboratoriyasida disk turidagi molekulyar nasos ishlab chiqdi. Uning strukturasi hozirgi zamonda sürüklenen molekulyar nasosga o'xshaydi. Nasosi tanasi spiral oluklarga ega va rotor diskdan iborat. 1939 yilda LE BOLD diametri 540 mm bo'lgan ikki nasos ishlab chiqarildi. Yivning o'lchamlari 22 mm x 22 mm, tashqi tomondan esa 22 mm x 1 mm. Qaytib tezligi 3,700 r / min va yurishi tezligi 73 L / s dir.
Erta molekulyar nasoslarning hammasi tortish turi molekulyar nasoslardir. Katta hajmli, kam nasos tezligi, kichik bo'shliqlar va ko'plab kamchiliklarning kamchiliklari bilan, amalda ko'plab cheklovlar qo'llaniladi, shuning uchun uni faqat ayrim maxsus sohalarda qo'llash mumkin emas va ommalashtirilmadi.
2. Turbomolekulyar nasoslarning tug'ilishi
1957 yilda Germaniyadagi PFEIFFER GmbH firmasidan W. Becker turbomolekulyar nasos deb nomlangan yangi molekulyar nasos ixtiro qildi. Landshaft tuzilish va nasosi bo'shlig'i dinamik va statik pichoq qatorlari bilan jihozlangan. Gaz nasos markazidagi kirish portidan o'tib, nasoslar korpusining har ikki tomoniga assimilyatsiya kanali orqali oqadi. Siqilgan havo barglar majmuasi tomonidan siqilganidan so'ng egzoz portidan chiqariladi. Ushbu turbomolekulyar nasosning rotori 19 blade qatoridan iborat. Shakl 2da ko'rsatilganidek, diametr 170 mm, aylanish tezligi 16.000r / min va nasos tezligi 140L / s dir.
1966-yilda Frantsiyada SENCMA korporatsiyasi vertikal turbomolekulyar nasos pionerini yaratadigan 14 ta pichoqli vertikal turbomolekulyar nasos ishlab chiqardi, rotor diametri 286 mm, aylanish tezligi 12,000r / min va nasos tezligi 650L / s ni tashkil etdi.
Yaponiyada molekulyar nasoslarni ishlab chiqaradigan va molekulyar nasoslarni ishlab chiqarishga ixtisoslashgan ko'plab ishlab chiqaruvchilar mavjud. 1971 yilda Yaponiyaning Fizika va Kimyoviy tadqiqotlar instituti 13 ta aylanadigan pichoqli qator molekulyar nasos va 12 ta statsionar qanotli rotor molekulyar nasosni muvaffaqiyatli ishlab chiqardi, rotor diametri 300 mm, aylanish tezligi esa 12,000 r / min. 1990 yilda Yaponiyaning "Osaka Vacuum Company" kompaniyasi 25,000 L / s tezlikda nasoslar bilan ishlaydigan yirik molekulyar nasosni muvaffaqiyatli ishlab chiqdi.
Hozirgi vaqtda zamonaviy molekulyar nasoslarning asosiy tuzilishi gorizontal va vertikal hisoblanadi. Gorizontal molekulyar nasos rotorning bir xil kuch-quvvat, yaxshi rulman joylashuv kuch holati, uzoq umr muddati, rulman almashtirish paytida statsionar rotor holati va oson parvarishlashning afzalliklariga ega. Biroq vertikal molekulyar nasoslarni yig'ish jarayoni gorizontal molekulyar nasosdan ko'ra soddadir, shuning uchun so'nggi yillarda vertikal molekulyar nasosning rivojlanish tezligi juda tez.
3. Zamonaviy molekulyar nasos
Molekulyar nasos tug'ilgandan buyon qariyb yuz yil bo'lgan bir tarix bor. Turli ilm-fan va texnologiyaning uzluksiz rivojlanishi bilan molekulyar nasos texnologiyasi ham ko'p yangilik va yutuqlarga erishdi. Zamonaviy molekulyar nasos ko'proq aqlli, moslashuvchan va samarali.
So'nggi yillarda, nazorat nazariyasi va kompyuter texnologiyalari tez rivojlanishi va molekulyar nasoslarga qo'llanadigan molekulyar nasoslar kompyuter tomonidan boshqarilib, nasossiz uzoqdan boshqarilishi amalga oshirildi. Shu bilan birga, axborot texnologiyalari asosida xavfsizlik va monitoring tizimlari razvedka sohasidagi molekulyar nasoslarning rivojlanishiga olib keldi.
Nasosning tezligi molekulyar nasosning asosiy parametridir. Aylanish tezligini oshirish nasos tezligini oshirishning eng to'g'ridan-to'g'ri usullaridan biridir. Dinamik muvozanatlash texnologiyasini ishlab chiqishda molekulyar nasosli rotor muammosiz ravishda yuqori tezlikda ishlashi mumkin. Va materialshunoslikning rivojlanishi bilan molekulyar nasosli rotorning materiallari ham o'zgarib, qattiq alyuminiy qotishmasi, uglerod tolasi, titaniumli qotishma va boshqa yuqori qattiqlik materiallaridan ishlab chiqariladi, bu esa rotorning aylanish tezligini yanada oshiradi.
So'nggi yillarda yarimo'tkazgich sanoatining rivojlanishi bilan molekulyar nasos yuqori bosimli muhitda doimiy ravishda gaz miqdorini katta miqdorda iste'mol qilish va ko'p hollarda toza vakuumni ta'minlashi kerak. Ushbu muhitda an'anaviy turbomolekulyar nasoslarning ishlashi pasayib ketdi va dizayn natijalarini kafolatlash qiyin. Molekulyar nasosni yuqori bosimli ish muhitiga moslashtirish uchun, tortish molekulyar nasosi qismi asl turbo molekulyar nasosga qo'shiladi va turbo molekulyar nasos va ketma-ket molekulyar nasos ketma-ket birlashtirilib, kompozit molekulyar nasos (3-rasmda) turbo molekulyar nasosning va orqadagi molekulyar nasosning afzalliklari bilan.
Bundan tashqari, so'nggi yillarda suv molekulalarini, kuchli magnit maydonlarda va kuchli korroziya sharoitida ishlaydigan keramika molekulyar nasoslarni va magnitli suspenziya molekulyar nasoslarni samarali tarzda ishlab chiqarishga imkon beruvchi past haroratli molekulyar nasoslar kabi qator yangi turdagi molekulyar nasoslar paydo bo'ldi. kontaktsiz qo'llab-quvvatlash, yuqori samaradorlik va yuqori hayotning afzalliklari.