Magnetronli sputtering filmining umumiy muammolari

Film kulrang va qorong'u

1. Vakuum darajasi 0.67 Pa dan past. Vakuum darajasi 0,13-0,4 Pa ga ko'tarilishi kerak.

Argo sofligi 99,9 foizdan kam. Plauz 99,99% toza bilan argondan foydalanadi.

3. Inflatable tizimining qochishi. Qochqinlarni bartaraf etish uchun inflyatsiya tizimi tekshirilishi kerak.

4. Primer butunlay tuzalmagan. Astarning tuzatish vaqti to'g'ri ravishda uzaytirilishi kerak.

5. Kaplantirilgan qismdan chiqarilgan gaz miqdori juda katta. Palata quritilishi va muhrlanishi kerak

Zerikarli va zerikarli sirt

1. Sputtering vaqti juda uzun. Vaqtni tegishli tarzda qisqartirish kerak.

2. Sputtering va filmni yaratish tezligi juda tez. Iltimos, porlash oqimini yoki kuchlanishni to'g'ri kamaytiring.

Qoplamaning notekis rangi

1. Film juda nozik. Iltimos, püskürtme tezligini yoki püskürtme vaqtini ziyoda qilgin.

2. Irratsional fikstür dizayni. Fiksture dizaynini yaxshilash kerak.

3. Substratning geometriyasi juda murakkab. Iltimos, substratning aylanish tezligini mos ravishda oshiring.

Filmda ajinlar yoki yoriqlar bor

1. Bug'lanish darajasi juda tez. To'g'ri sekinlashishi kerak.

2. Film juda qalin. Sputtering vaqti mos ravishda qisqartirilishi kerak.

3. Substratning harorati juda yuqori. Iltimos, substratning isitish vaqtini qisqartiring.

Film sirtida suv belgisi, barmoq izlari va kuyikish zarralari mavjud

1. Tozalashdan keyin substrat yetarlicha quritilmaydi. Dastlabki qoplamali davolashni kuchaytirish kerak.

2. Substrat yuzasi suv yoki tuprik bilan puflanadi. Operatorlar maskalarni kiyishlari kerak.

Yomon tanlov

1. Qaplama qismlarini yomon yog 'bosimi. Dastlabki qoplamali davolashni kuchaytirish kerak.

2. Vakuum xonasi toza emas. Vakuum xonasini tozalash kerak. Iltimos, yuklarni yuklash va tushirish jarayonida, qo'llarni yoki boshqa nopok ob'ektni ishlatish qat'iyan man etiladi, shuning uchun magnetron manbaiga teging.

3. O'yinchoq toza emas. Armatura tozalash kerak.

4. To'satdan ishlov berish sharoitlarining noto'g'ri nazorati. Iltimos, porlash jarayoni sharoitlarini yaxshilang.