Ultra yuqori vakuum qurilmalarining xususiyatlari va tasnifi

V harakteristikasi va ultra yuqori vakuum birliklarining tasnifi

IKS PVD, PVD vakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi, endi biz bilan bog'laning, iks.pvd @ foxmail.com, qoplama mashinasi haqida batafsil ma'lumot olish uchun.

10-5 foizdan ortiq ishlaydigan ultra yuqori vakuum qurilmalari diffuziya pompasiga, molekulyar nasosga ultra yuqori vakuumli agregatlarga va neftsiz ultra yuqori vakuumli qurilmalarga ega. Qurilmalar quyidagi xususiyatlarga ega:

1. Asosiy nasosning yuqori aniq vakuum darajasi, yuqoridan 10 ^-7 ~ 10 ^-8 Pa;

2. 200 ~ 450 ℃ pishirish yuqori haroratga chidamli ;

3. Asosiy nasosda qayta oqim gazining qisman bosimi juda past;

4. Nasoslangan gazning asosiy nasos tanlovi uchun etarli miqdorda qo'shimcha nasos bilan jihozlanishi;

5. Vakuum kamerasi, quvur, vana va materialning chiqindilarining boshqa qismlari talablari juda kam, oqish darajasi juda kichik.

(1) Difüzyon pompası ultra yuqori vakuum birligi

Yuqori vakuum birligida ustunlikka ega nasos sifatida diffuzion nasos, ultra yuqori vakuum darajasi 10-7 ~ 10-8 Pa.

Difüzyon pompasından gaz difüzyonu darajasidan oldin va mexanik nasosi bloki eng yuqori vakuumda qarshi difüzyon ta'siri oldini olish uchun, lekin difüzyon pompasının darajasi oldida, siqishni nisbati kamaytirish uchun, difüzyon pompasının kichik bir nasosi tezligi kiriting diffuziya diffuzion pompa kirishida bo'lgani kabi, yuqoridagi titanium sublimatsiya qoldig'i diffuzion nasosdan azot qisman bosimini kamaytirishga imkon beradi, 10 dan 11 gacha ultra yuqori vakuumga ega bo'ladi .

(2) Molekulyar nasosni ultra yuqori vakuumli birlik

Asosiy pompa sifatida molekulyar nasosga ega ultra yuqori vakuum birligi maksimal vakuum darajasiga ega bo'lib, 10-8pa tezligini ta'minlaydi, bu tez ishga tushirish va oz miqdorda neft ifloslanishi bilan ajralib turadi. Bundan tashqari, nasos tezligini oshirish uchun jihozga suyuq azotli sovuq quduq qo'shilishi mumkin. Yog 'bug' tizimiga kirishini oldini olish uchun mexanik nasosning chiqish qismida suv sovuq quduqni sozlash mumkin .

(3) Yog 'ichida juda yuqori vakuum birligi

Neftni ishlaydigan suyuqlik sifatida ishlatmaydigan va organik materiallar bilan yopishtirilmagan vakuum qurilmalari kriogenli nasoslar, titaniumli nasoslar, titroq ionlari nasoslari va boshqalar kabi neytral bo'lmagan ultra yuqori vakuumli birliklarda ishlatiladigan asosiy nasoslar sifatida tanilgan, 10 ^-7 ~ 10 ^-8 gacha yakuniy vakuum darajasiga erishish mumkin. Yog 'o'z ichiga olgan vakuum birliklari bilan taqqoslaganda, u quyidagi afzalliklarga ega:

1) ifloslanish manbalarisiz toza vakuum olinishi mumkin;

2) Yog'siz vakuum pompasi ishga tushirilganda, oldindan nasosi pompasi ajratilishi mumkin;

3) Nasos to'satdan to'xtab qolsa, tizim ifloslanmaydi;

4) Yog 'yo'q, tebranish yo'q, ish muhitini yaxshilaydi;

5) Yuqori chegara vakuum, yuqori pompalama tezligi, qisqa yurishi vaqti.