Ultra yuqori vakuumli pechda kriogenli nasosning namunasi

Ultra yuqori vakuumli pechda kriogen nasosning namunasi

  IKS PVD, PVD vakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqarish, hozir biz bilan aloqada, iks.pvd @ foxmail

O'n yildan ziyod vaqtdan beri vakuum elektron texnologiyalari bilan bog'liq bo'lgan texnologik uskunalarda kryojenik nasos va quruq nasossiz tizim qo'llanila boshlandi. Bu urinish kriogen pompasi vakuumli pechni ishlatishning tez, toza va ishonchli noyob afzalliklari bo'ladi. Kriogen pompasi toza ultra yuqori vakuumli muhitni ta'minlash uchun vakuum tizimiga kiritilgan. Ushbu maqolada, misol bilan ultra yuqori vakuumli pechda kriogen pompasi qo'llanilishi nazarda tutilgan. Ushbu maqolada asosan kriyojenik nasosi vakuum tizimining dizayn tushunchasi, asosiy konfigürasyon va vakuum tizimining e'tiborini talab qiladigan masalalar, kriyojenik nasosi turi tanlashda hisoblash va kriojenik nasosi tizimini o'rnatish, ulardan foydalanish va parvarishlash, grafik uslubi. Shu kabi vakuumli pechni tadqiq qilish va ishlab chiqish va kriyojenik nasosni qo'llash uchun mos yozuvlar qiymati. Ultra yuqori vakuumli spesifikasyonlara muvofiq barcha tadqiqot va ishlab chiqarish aloqalarini, tozalash, gazni pishirish va pishirishni qat'iy nazorat qilish orqali vakuum o'choqining so'nggi bosimi 2 x 10-7pa ga etdi, an'anaviy vakuumli pechning chegara bosimini deyarli o'lchov tartibi. So'nggi yillarda neftsiz vakuum nasoslari ishlab chiqarildi va yarimo'tkazgich sanoatida keng qo'llanildi. Shuning uchun, kryojenik nasos va quruq nasos bilan ifloslangan ultra yuqori bo'lgan vakuumni xarid qilish tizimi yarimo'tkazgich elektron texnologiyasi, optik qoplama tizimi va aerokosmik sohalarda keng tarqalgan.

Ekstraktsiya sirtining temperaturasini past haroratli muhit orqali 20k dan kamroq darajaga tushirish orqali ekstraktsiya sirtida gazning katta miqdorini olish uchun quyi qaynoq nuqtasi haroratiga ega gazni to'ldirish mumkin. Past haroratli nasoslardan foydalanish kriogenli nasos deb ataladigan gaz nasoslari pompasi yoki kondanslash pompasi bo'lib qoladi. Bu pompalanadigan maydonning bosimini kamaytirish va vakuum olish yoki vakuum holatini saqlab turish uchun sirt haroratini kamaytirish uchun past haroratli muhitdan foydalangandan keyin gazni kontsentratsiyalash, adsorbsiyalash yoki gazlashtiradi.

To'liq nasos tizimida kriyojenik nasos ikki qismdan tashkil topgan bo'lib, asosiy tanasi vakuum pompasi tanasi, ikkinchisi esa kompressor hisoblanadi. Soğutucu mashinaning kriyojenik nasosi endi keng tarqalgan bo'lib qo'llanilmoqda, uning yadrosi kriogenli sovutgichli mashinadir. Asosiy jarayonlar quyidagilardan iborat: geliy gazi birinchi navbatda yuqori harorat va bosim bilan siqiladi; Keyin u issiqlik almashinuvi orqali xona haroratidagi geliyga sovutiladi. Keyin tozalangan yuqori saflıkta geliy tsilindr tomonidan past haroratli geliyga aylanish uchun adiyabatik ravishda kengayadi. Va shuning uchun atrofida va atrofida bo'ladi va geliy soviydi va sovitish vositasi - kriogenli geliy bo'ladi.

Kriogen pompasini tanlashning afzalliklari quyidagilardan iborat:

(1) toza, toza, yog 'yo'q, keng miqdordagi gaz chiqarish, ideal ultra yuqori vakuumli muhitni tezda olishi mumkin;

(2) va boshqa vakuum nasoslarining diametri, kriyojenik pompada, ayniqsa, suv bug'ini chiqarib olish qobiliyatiga ega;

(3) gaz, aralash zarrachalarni pompalanadigan va tizim ishiga ta'sir qiladigan tanlov yo'q;

(4) har qanday burchakka o'rnatilishi mumkin, hech qanday harakatlanuvchi qismlar mavjud emas, oldingi bosqich pompasiga kerak bo'lmaydi, ishlaydigan va texnik xarajatlar past;

(5) Atmosferaga ta'sir qilish tizimga ozgina ta'sir qiladi, kompressor suvidan o'zini himoya qilish mumkin, shuning uchun qarovsiz qolishi mumkin.

Vakuum tizimini loyihalash

Vakuumli pechka kriogen pompasi tizimini tanlaydi, eng katta muammo issiqlik yukini bartaraf etishdan iborat. Vakuumli pechda issiqlik yuki asosan uch jihatdan kelib chiqadi:

(1) o'choqning issiqlik radiatsiyasining tarafidan;

(2) yopishqoq oqim holati, gaz molekulalari issiqlikni tashiydi;

(3) nasos og'zidan trubadan issiqlik o'tkazuvchanligi va radiatsiya issiqligidan.

Kryojenik nasos molekulyar oqim holatida ishlaydi, issiqlik manbasi ii e'tiborga olinmaydi. Issiqlik manbasini (3) suvli sovutish tizimini qo'shib yo'q qilish mumkin. Kuyikish pufagida o'choq tanasidan issiqlik yukining ta'siri dizaynda ko'rib chiqiladi. Vakuumli pechda ko'p qatlamli metall reflektor ekrani tanlangan. Vakuumli pechkaning isitish harorati 1300 ℃ , eng katta umumiy dizayn 6 ta yorituvchi ekran, molibden qoplama ekrani 3 qatlam, qolgan qatlamlar zanglamaydigan po'latdan yansıtıcı ekran tanlangan. Nazariy jihatdan radiatsiya harorati bo'yicha konteyner devoriga taxminan 200 ℃ bo'lgan harorat, vaqt o'tishi bilan asta-sekin o'sib boradi. Ko'pgina hollarda, past haroratli nasos 90 ° tirsakni o'z ichiga olishi mumkin, bu esa xonani oldini olish va vakuumdan qutqarish uchun issiqlik nurlanishini kamaytirishga mo'ljallangan nasosning eng oddiy va samarali usuli hisoblanadi. Molekulyar oqim holatida tirsak konvektsiyasi qo'llanmasining ta'siri e'tiborsiz bo'lishi mumkin va u ultra yuqori vakuum tizimiga ta'sir qilishdan ko'ra samaralidir. Issiqlik energiyasini va nurlanishni kriyojenik nasosga ta'sirini kamaytirish maqsadida, tirsak trubkasida suv bilan sovutilgan tuzilish loyihalashtirildi. Vakuum tizimining strukturasi 1-rasmda ko'rsatilgan.

Ideal ultra yuqori vakuumni olish uchun molekulyar nasos blokining parallel vakuum tizimini va ortiqcha texnologiyasidan foydalangan holda kriyojenik nasosni yaratdik. Molekulyar nasosli tizim, sistemani oldindan nasos sifatida ishlatishi mumkin, shuning uchun kriyogen pompa sovutilganda to'g'ridan-to'g'ri molekulyar oqim holatida ishlaydi .

Bundan tashqari, vakuum kamerasidan chiqarilgan havo miqdori nisbatan katta bo'lsa, uni havo olish uchun molekulyar nasosga o'z vaqtida o'zgartirish mumkin, bu faqat kriyojenik pompanın egzoz doygunluğunun vaqtini uzaytira olmaydi, shuningdek, rejenerasyon muddatini . Molekulyar nasos va kriyojenik nasos pnömatik ultra yuqori vakuumli vana va vakuum kamerasi bilan ulanadi. Tizim toza va yog'siz bo'lishini ta'minlash va ayni paytda kriyojenik nasosning nasoslarga oid afzalliklariga to'liq rioya qilishni ta'minlash uchun toza yog'siz magnit-levitatsion molekulyar nasos tanlansa, oldingi bosqichda vortex quruq nasos tanlansa nasosi va quruq nasos ham kriyojenik nasosi rejenerasyonunda havo ekstraksiyonu uchun ishlatiladi. Vakuum tizimining sxematik diagrammasi. Vakuum tizimining 2 asosiy tuzilishi.

Molekulyar nasosi agregati va kompressor bir vaqtning o'zida ishga tushirilganda, taxminan 120 daqiqadan so'ng, kriyojenik nasossizning ikkinchi darajali sovuq boshi xona haroratidan 15 k dan pastga tushiriladi (kriyojenik nasosi qopqog'i eshigi ochilishi mumkin). Hozirgi vaqtda vakuumli pechning vakuum darajasi 10-5 ga oshishi mumkin, shuning uchun kriyojenik nasos to'g'ridan-to'g'ri yuqori vakuumdan boshlanishi mumkin.

Uskunalar to'plami ultra yuqori vakuum sharoitida diffuzion payvandlash jarayoniga tatbiq qilinadigan o'rta o'lchamli vakuumli pechning odatiy to'plamidir, issiqlik sig'imi va sirt maydoni xuddi shu spetsifikatsiyadagi issiqlik ishlov berish punktidan yuqori, yuqori darajadagi avtomatlashtirish, kriyojenik pompanın konfigürasyonu muhim afzalliklarni beradi. Vakuum pechining oxirgi sinov bosimi 2 * 10-7 Pa (sovuq va bo'sh), bosim ko'tarilishi 0,002 Pa / sni tashkil qiladi. Indeks odatdagi yuqori vakuumli pechdan yaxshiroqdir. Hozirgi paytda mahalliy kriyojenik pompa ilovalari ko'pincha importga bog'liq va boshqa nasoslar bilan bir xil kalibreler, narxlari ancha qimmat. Shu bilan birga, yuqori toza jarayon muhiti, toza neftsiz vakuum va ultra yuqori vakuum sohalarida katta afzalliklarga ega va kriyojenik nasos xizmat narxi va xizmat muddati jihatidan boshqa nasoslarga qaraganda yomon emas. Mahalliy kriogen nasoslarini tadqiq qilish va ishlab chiqish hali ham etuk bo'lishi kerak, ayniqsa, kompressor texnologiyasi, mahalliy toza vakuum nasos sanoatining o'sishiga umid qilmoqda.