Mıknatıslı Sputtering maqsadlarining energiya tashish qobiliyatini tahlil qilish

  1. Nishon ob'ekt va yuk kuchlari diapazoni

(1) Dairesel tekis magnitron maqsadli kuch zichligi 1 ~ 25w / sm ^{2 dir}

(2) To'g'ri to'rtburchaklar düzlemli magnetron maqsadi energiya zichligi 1 ~ 36w / sm ^{2 dir}

(3) ustunli magnetronli maqsad va konusning planar magnetronli maqsadi (S tabancası) kuch zichligi odatda 40 ~ 50w / sm ^{2 dir} .

2. Magnetron maqsadning haqiqiy ko'chirish kuchi

Püskürtme texnologiyasi va kino sifatiga bo'lgan talablarga qo'shimcha ravishda, magnetron maqsad haqiqiy rulman kuchi ham, sovutish sharoitlari va maqsadning issiqlik tarqalish shartlari bilan chambarchas bog'liq.

Magnetron maqsadlarni sovutish usuli asosida ikki turga "to'g'ridan-to'g'ri suv bilan sovutish" va "bilvosita suv sovutish rejasi" ga bo'lish mumkin.

Uzoq muddatli foydalanishdan so'ng maqsadning keksayib ketishini hisobga olganda, uning issiqlik tarqalish sharoitlari yomonlashadi va turli xil maqsadli materiallarning turli issiqlik uzatish koeffitsientlarini hisobga olgan holda, magnetron maqsadning yakuniy yuk kuchi va to'g'ridan-to'g'ri suv sovutish maqsadining haqiqiy maksimal kuchi quvvat zichligi oralig'idagi yuqori chegaradan pastroq darajada sozlanishi mumkin. Va bilvosita suv sovutish maqsadi maksimal maksimal yuki, quvvat zichligi oralig'ining yuqori chegarasining yarmiga teng bo'lishi mumkin.

Magnetron maqsadlar (asosan, Cu, Ag, Brass va Al bronza) "o'z-o'zidan titraydigan" bo'lsa, u odatda "suvni sovutish" ga mo'ljallangan magnetronli pushtiradigan maqsadlardan foydalanadi. Quvvatni ishlatish uchun yakunlovchi kuch maqsadli quvvat zichligi oralig'idagi yuqori chegaradan yuqori bo'lishi kerak.