Bug'lanish vakuumli qoplama mashinasi uchun texnik va tuzilish talablari qanday?
Jan 29, 2019| Bug'lanish vakuumli qoplama mashinasi uchun texnik va tuzilish talablari qanday?
IKS PVD texnologiyasi, hozir biz bilan bog'laning, iks.pvd@foxmail.com
I. tuzilish talablari
1, qurilma tuzilishi oqilona tartib bo'lishi, chiroyli shakli, ishlatish uchun qulay bo'lishi, parvarish qilinishi oson bo'lishi kerak.
2. Qurilmadagi statik va dinamik muhrlarning tuzilishi va o'lchami GB / T 6070 va JB / T 1090 ~ 1092 qoidalariga muvofiq bo'lishi kerak.
3. Past va yuqori vakuum trubkalarda va har bir qismning bosimini alohida o'lchash uchun qoplama kamerasiga vakuum o'lchagich o'rnatilgan bo'lishi kerak.
4. Agar uskunaning vakuum agregati diffuziya pompasi tomonidan boshqarilsa, diffuziya nasosining kirish qismida shovqin yoki sovuq quduq o'rnatilishi kerak.
5 ga binoan, qoplama xonasida radiatsiyaviy uskunalar qoplama jarayoni uchun kuzatish oynasi bo'lishi kerak, kuzatish oynasi piyodalarga-nurli linzalar bilan jihozlangan bo'lishi kerak.
6, ishlov berish pishirish uskunalari bilan harorat o'lchash elektrodlari yoki haroratni o'lchash moslamasi bo'lishi kerak.
7-gachasi ish qismini aylantirish mexanizmining aylanish tezligi mahsulot dizayni talablariga javob berishi kerak.
8. ion bombardimon qurilmasi yoki keng nurli kam energiyali ion manba qurilmasi bilan jihozlangan jihozlar mahsulot dizaynida ko'rsatilgan parametrlar doirasida 30 daqiqadan ko'proq vaqt davomida normal va barqaror ishlashi mumkin.
9. Bug'lanishli issiqlik manbai sifatida volframli simli isitgich bug'lanish materialining bug'lanishini an'anaviy bo'lishi va bug'lanish jarayonida isitgich geometriyasi normal bug'lanishga ta'sir etmasligi kerak.
10. Uskunaning bug'lanish manbai barqaror va sozlanishi va boshqarish uchun qulay bo'lishi kerak. Turli bug'lanish manbalariga (masalan, qarshilik bug'lanish manbalari, elektron nurlanish bug'lanish manbalari, ion nurlari bug'lanish manbalari, lazer bug'lanish manbalari, indüktif bug'lanish manbalari va boshqalar) texnik talablari tegishli mahsulot standartlariga muvofiq belgilanadi.
11. Uskunalar past kuchlanishli va yuqori oqim bug'lanish manbasini qabul qilganda, har bir bug'lanish manbai isitgichi 4V ~ 20V kuchlanish va oqim 50A ~ 180A holatda normal ishlashi kerak.
II. Ishlab chiqarish talablari
1. Uskunaning qismlari va tarkibiy qismlarining ishlov sifati, payvandlash sifati va montaj sifati ishlab chiqaruvchining texnikaviy hujjatlariga muvofiq bo'lishi kerak.
2. Mashina qoplamasi va yopishtiruvchi sirtining yopiq joyining Ra-rushi qiymati 1,6m dan oshmasligi kerak va vakuum holatidagi barcha sirtlarni samarali tozalash va vakuum bilan quritilishi kerak. Barcha qaytib qismlar, o'chirish mexanizmi va boshqa harakatlar moslashuvchan bo'lishi kerak, yopishqoqlik, turg'unlik, bo'shashmaslik, chayqash va anormal ovoz hodisasi va boshqalar.
3. Uskunaning asosiy qismlari va tarkibiy qismlari materiallari tegishli moddiy standartlarga muvofiq bo'lishi kerak.
4. Qo'llab-quvvatlovchi elektr jihozlarining sifati ishlab chiqaruvchining texnik hujjatlariga muvofiq bo'lishi va jihozning ishlashi va ishlatilishida ishonchliligi va ishonchliligini ta'minlashi kerak.
5. Uskunaning tashqi ko'rinishi sifati keskin burchaklar, qirralar, shamchalar va qo'pol sirtlar kabi funksional bo'lmagan talablardan ozod bo'lishi kerak. Jihozning tashqi qismining chekkasi aniq va hatto aniq ko'rinmas holda bo'lishi kerak. qoplama, yiqilmaslik va zang va boshqa hodisalar yuzaga kelmaydi, barcha kuchli qismlar zanglik qatlami bo'lishi kerak. Uskunaning qoplama yuzasi yorqin va toza, chiroyli, mustahkam, hech qanday to'kilmasin, tozalash va boshqa hodisalar bo'lishi kerak.
6. Uskunadan sotib olingan qo'shimcha mahsulotlar tegishli mahsulot standartlariga muvofiq bo'lishi kerak va sifat sertifikatlariga ega bo'lishi kerak. Uskuna ichidagi o'zidan tayyorlangan qo'shimcha mahsulotlarni faqat ishlab chiqaruvchining inspeksiya bo'limi tomonidan tekshirilgandan so'ng foydalanish mumkin.
7. Turli bug'lanish manbalari, yordamchi ion manbalari va ion bombardimonligi, ishlov berishning aylanishi, ishlov berish pichog'i, ishlov berish asbobi, plyonka qalinligi monitoringi va uskunalardagi boshqa asboblar. Maqsadida disk raskadrovka va qo'shma disk raskadrovka ishlari bajarilishi kerak. nominal haroratga qizdirilsa, vakuum tashqi sirt harorati 45 darajadan oshmasligi kerak va uskunaning harakatlantiruvchi qismi normal ishlashi kerak.