Vakuum uskunalari mahsulotining tasnifi va xususiyatlari va vakuum nasosini qanday tanlash kerak

Vakuum uskunalari mahsulotining tasnifi va xususiyatlari va vakuum nasosini qanday tanlash kerak

IKS PVD, PVD qoplama mashinasi factory.contact: iks.pvd@foxmail.com

Vakuum uskunalari mahsulotini besh toifaga bo'lish mumkin:

(1) vakuumni olish uskunasi - vakuumni ishlab chiqaruvchi, takomillashtiradigan yoki saqlaydigan qurilmalar. Qamrab, past, o'rta, yuqori va ultra yuqori vakuumli nasoslar va vakuum birliklarini o'z ichiga oladi.

A. Mexanik vakuum pompasi: qaytib po'lat pompasi, pistonli nasosi, slayd quvuri pompasi, ildiz nasosi, molekulyar nasos va suyuq ring pompasi va boshqalar.

B. Bug 'oqimi vakuum pompasi: suv bug' pompasi, yog 'booster nasosi va yog' difüzyon pompası va boshqalar.

C. Gazni tortib olish uchun vakuum pompasi: titanium püskürtme ion pompası, kriyojenik nasosi, molekulyar elenk adsorpsiyon pompası va zirkonyum va alyuminiy havo emiş pompası.

D. Vakuum birligi: vakuum ishlab chiqarish, vakuum va vakuumni o'lchash kabi komponentlardan tashkil topgan bir turdagi qurilma.

(2) vakuumli ishlov berish uskunasi ~ vakuum sharoitida qo'llaniladigan turli xil asbob-uskunalar (bir atmosferaning gaz holatida).

A. Vakuum qoplama mashinasi: bug'lanish qoplama mashinasi, magnetronli pushtirish qoplama mashinasi, ion qoplama mashinasi va plazma kimyoviy biriktiruvchi qurilma va boshqalar.

B. Vakuum eritish o'chog'i: qarshilik pechlari, elektron nurli pech, elektr ark ocagi, induksion pech va bitta kristallli o'choq va boshqalar.

V vakuumli ishlov berish punkti: söndürme punkti, temperaturali o'choq, tavlama pechi, karbürizasyon ocağı, azotlama ocağı va metallizasyon fırını va boshqalar.

D. Boshqa vakuum uskunalari: muzlatish uskunalari, distillash uskunalari, tozalash uskunalari, emdirish uskunalari, meva va sabzavotlarni saqlash uskunalari, transport uskunalari, kosmik simulyatsiya uskunalari, qadoqlash mashinalari va po'latdan gazni tozalash qurilmalari va boshqalar.

(3) Vakuum o'lchash vositasi bitta atmosfera ostidagi gazlar va bug'larning bosimini o'lchash uchun asbob.

A past vakuum o'lchagich (o'lchash diapazoni: 105 - - 102Pa).

B. o'rtacha vakuum o'lchagich (o'lchov oralig'i: l02 - l0-1pa).

Yuqori vakuum o'lchagich (o'lchash diapazoni: l0-1-10-5pa).

D. ultra yuqori vakuum o'lchagich (o'lchov oralig'i <>

(4) vakuum qochqinning detektori: vakuum tizimidagi yoki tarkibiy qismlarida qochqin teshiklarining holatini yoki nisbasini aniqlash uchun asbob. Bu yuqori chastotali uchqun migratsiyasi detektori halogen oqish detektori va geliy massasi spektrometri qochqinning detektorini o'z ichiga oladi.

(5) vakuum klapan - vakuum tizimida oqimni tartibga solish, kesish yoki quvurlarni bog'lash uchun ishlatiladigan komponent. Plitalar plastinka vagonu, shnur vana, solenoidli valve, magnit lenta tushirish klapani, diafragma valfi va sozlagichli vana.

Vakuum pompasini yaxshiroq tanlash va undan foydalanish uchun biz to'g'ri mahsulotni tanlashingiz uchun diqqat bilan quyidagi masalalarni xulosa qildik. Haqiqiy vaziyatga ko'ra, ularga e'tibor qaratishimiz kerak:

1, vakuum pompasi jarayonning vibratsiyasini va atrof-muhitning ta'siri yo'q. Jarayon qo'llab-quvvatlanmasa, nasosning tebranishini tanlamasligi yoki tebranishning oldini olish uchun bir qator chora-tadbirlarni qo'llash kerak.

2. Pompalanadigan gazning tarkibini bilingki, gazda zaharli chang yoki korroziya mavjud. Vakuum nasosini tanlashda siz gaz tarkibini bilishingiz kerak. Gazda bug ', zarrachalar va korroziv gazlar mavjud bo'lsa, nasosning kirish liniyasiga qo'shimcha qurilmalarni o'rnatish kerak.

3, vakuum pompasi o'zining ish bosimida vakuum uskunasini ishlab chiqarilgan gazning barcha ishlarini to'xtatishi mumkin.

4, vakuum nasosining to'g'ri kombinatsiyasi. Ba'zan nasosni nasos talablarini qondira olmaydi, chunki vakuum nasosini tanlash nasosga ega, bir nechta nasos kombinatlari nasos talablarini qondirish uchun bir-birini to'ldirishi kerak.

Titanyum süblimasyon pompası vodorod uchun yuqori nasosi tezligiga ega bo'lsa-da, lekin helyumu pompalamayacak va tripole püskürterek ion pompası (yoki bipolyar asimetrik katot püskürterek ion nasosi) argon uchun ma'lum bir nasosi tezligiga ega bo'lsa, vakuum qurilma tegishli vakuum darajasi .

5. Vakuum uskunalarini neft bilan ifloslanishiga qo'yiladigan talablar. Agar uskunalar aniq yog 'talab qilmasa, masalan, suv aylanish pompasi, molekulyar sarg'ish adsorpatsiya pompasi, pushti ion pompasi, kriogen pompasi va boshqalar kabi turli xil nasoslarni tanlash kerak, agar talablar qat'iy emas bo'lsa, nasosni tanlashi mumkin. neftning ifloslanishini oldini olish choralari.

6, vakuum pompasi ish nuqtasini to'g'ri tanlash. Har bir nasos ma'lum bir ish bosimiga ega. Shu sababli, nasosning ish nuqtasi tanlangan bo'lishi kerak, bu o'rinda ko'proq mos keladi va uni 25 ~ 30mmHg da uzoq vaqt davomida ishlashiga ruxsat berilmaydi.

7. Vakuum nasosidan chiqarilgan neft bug'ining atrof muhitga ta'siri qanday? Atrof muhit ifloslanishiga yo'l qo'ymasa, yog'siz vakuum pompasini yoki tashqi bug 'chiqindisini tanlashingiz mumkin.

8. Vakuum nasosining ish bosimi vakuum uskunasining haddan tashqari vakuum va ish bosimiga javob berishi kerak. Misol uchun, vakuumni quritish jarayoni 10 mmHg bo'lgan ishlaydigan vakuumni talab qiladi, tanlangan vakuum nasosining eng katta vakuum darajasi kamida 2 mmHg, eng yaxshi esa 1 mmHg bo'lishi mumkin. Odatda nasosning vakuumini vakuum uskunasidan vakuumning yarmidan kattagina tartibga solishdan yuqori bo'lishi kerak.

9. Nihoyat, dastlabki o'rnatish narxini, vakuum nasosining ishlash va texnik sarfini hisobga olgan holda, haqiqiy vaziyat bilan birgalikda yuqori narxlardagi ish bilan ishlaydigan vakuum nasosini tanlang.