Ultra yuqori vakuumli nasos to'plami

Ultra yuqori vakuumli nasos to'plami
Ultra yuqori vakuum birligi 10-6 ~ 10-10 Pa ultra yuqori vakuum bosimi oralig'ida ishlaydi, vakuum kamerasi materialining juda past gaz chiqishi tezligiga ega bo'lishi talabiga qo'shimcha ravishda, a juda kichik gaz oqish tezligi va 200 ~ 450 daraja yuqori haroratli pishirishga bardosh bera oladi, jihozga qo'yiladigan talablar ham quyidagilarni o'z ichiga oladi:
(1) asosiy nasosning oxirgi vakuum darajasi yuqori bo'lishi kerak, kamida 10-7 ~ 10-8Pa yuqorida;
(2) Asosiy nasos o'ta yuqori vakuumning ish bosimi oralig'ida ma'lum bir nasos tezligiga ega;
(3) Jihozning asosiy nasosi yoki asosiy nasosning havo olish qismi ustidagi qismi 200 ~ 450 daraja yuqori haroratda pishirishga bardosh bera oladi;
(4) Avtonom nasosga teskari gazning qisman bosimi (shu jumladan ishchi suyuqlik bug'i va erigan gaz) etarlicha past bo'lishi kerak;
(5) Pompalangan gazning kuchli selektivligi bo'lgan asosiy nasos etarlicha katta yordamchi nasos bilan jihozlangan bo'lishi kerak;
(6) Quvurlar, klapanlar va jihozning asosiy nasosining qabul qilish porti ustidagi boshqa komponentlar, materiallarni tanlash va muhrlash ayniqsa ehtiyot bo'lishi kerak. Odatda, past gaz chiqishi tezligi va metall plomba tuzilishi va muhrlash materiallari bilan zanglamaydigan po'latdan foydalaniladi.

IKS PVD kompaniyasi, dekorativ qoplama mashinasi, asboblarni qoplash mashinasi, DLC qoplama mashinasi, optik qoplama mashinasi, PVD vakuumli qoplama liniyasi, kalit loyihasi mavjud. Biz bilan hozir bog'laning, E-mail: iks.pvd@foxmail.com