Molekulyar nasosning ish printsipi

Molekulyar nasosning nasos mexanizmi mexanik nasosdan nasosi bo'shlig'ining miqdoriy o'zgarishi bilan pompalanadi, momentum uzatish printsipi ishlatiladi, molekulyar orientatsiya oqimi nasosdan tashqariga chiqariladi, shuning uchun nasos maqsadiga erishish uchun .

Molekulyar vakuum pompasi bu gazni molekula energiyasini uzatish uchun yuqori tezlikda aylanuvchi rotorni ishlatishdir, bu esa uni siqishni va evakuatsiya qilishdir. Quyidagi turlari mavjud:

Tranzaktsion molekulyar nasos: Gaz molekulalari va yuqori tezlikli rotor to'qnashuvi chiqib ketishga yuboriladi, bu esa momentumli transfer pompasidir.

Turbo molekulyar nasosi : Nasos stator disklari (yoki statorlar) o'rtasida aylanadigan yivli disk yoki pichoqli rotorga ega. Rotorning aylanma chiziqli tezligi juda yuqori. Bunday nasos odatda molekulyar oqim holatida ishlaydi.

Murakkab molekulyar nasos : Turbo turi va traktsiya turi bilan ketma-ket kombinatsiyalangan kompleks molekulyar vakuumli nasos.

Molekulyar nasos dvigatelning haydovchisi ostida yuqori tezlikda aylanadi va motorni ishlatish uchun chastota o'tkazish quvvatini ishlatadi va maqsad yanada yuqori tezlikka erishishdir. Molekulyar oqim sohasidagi gaz molekulalari yuqori tezlikda aylanadigan pichoq yuzasi bilan to'qnashadi va momentum gaz molekulalariga o'tadi, shuning uchun qisman gaz molekulalari qattiq tananing yuzasida yo'nalish oqimini hosil qiladi va tashqariga chiqariladi gazni qazib olish maqsadiga erishish uchun nasos. Odatda qattiq jismning sirtini tez gaz molekulalarini tashish va muayyan yo'nalishda harakat qilish uchun molekulyar tortish fenomeni deb ataladi. Bu hodisani vakuum pompasidan tortish molekulyar nasosi deb ataydi.

Traktsion molekulyar nasosning afzalligi qisqa ishga tushirish vaqti, molekulyar oqim holatida yuqori siqish nisbati bo'lib, har qanday gaz va bug'larni olib tashlashi mumkin va ayniqsa og'irroq gazlarni quyish uchun juda mos keladi. Ammo tortish molekulyar nasosining kichik nasos tezligi, kichik yopishqoqlikdagi bo'shliq, ishning zaifligi, oson mexanik etishmovchilik va qiyin ishlab chiqarish tufayli, aslida u juda kam qo'llaniladi. Keyinchalik tortish molekulyar nasosi yaxshilandi va turbo molekulyar nasos paydo bo'ldi.

Turbo-molekulyar nasoslarda interfaaz trakajli g'ildiraklar va turg'un g'ildirak vantillari ko'p guruhlari mavjud va har bir g'ildirakda ma'lum bir burchakda harakatlanadigan ko'pgina shkaflar mavjud. Haqiqiy turbo molekulyar nasos rotor plitasi, stator plastinka, rotor plastinka bilan navbatdagi tartibga keladigan ko'p bosqichli kaskadli pichoq konstruktsiyasidan iborat bo'lib, aylanadigan pichoq elektr fan pichog'ining ta'siriga o'xshaydi va bir tarafdan boshqa tomonga gaz. Molekulyar nasos tezligini oshirish molekulyar nasosning nasos tezligini oshirish uchun foydalidir. Pichoqlarning aylanish tezligini cheklash tufayli gaz molekulalari tezroq harakatlansa, vakuumni pompalamoq juda qiyin.

Turbo molekulyar nasos ham yuqori tezlikda aylanadigan ko'p bosqichli turbinli rotor pichoqlari va doimiy pichoqlar kombinatsiyasi orqali pompalanadigan mexanik vakuum pompasidir. Kerakli vakuum ishlashiga erishish uchun molekulyar oqim sohasidagi qazib olingan gaz uchun yuqori siqishni nisbati ishlab chiqaradi. Turbo-molekulyar nasosning eng katta vakuati diffuziya pompasidan 10-8 gacha oshadi. Oddiy ishlash ma'lum bir vakuum darajasini talab qiladi. Vakuum darajasi nasosga ko'ra bir oz farq qiladi. Odatda 1-200pa orasida va mexanik nasosi oldingi bosqich nasosi sifatida ishlatilishi mumkin. Turbo-molekulyar nasosning yuqori tezligi tufayli, odatda IF motori va 300-400HZ gacha bo'lgan quvvat manbai chastotasi boshqariladi.

Suvni sovutish odatda turbo molekulyar nasoslarda ishlatiladi.

Murakkab molekulyar nasos turbo molekulyar nasos va tortish molekulyar nasosning bir qator birikmasidir. Ikki nasosning afzalliklarini birlashtiradi va katta bosim tezligi va keng bosim oralig'ida ^10-6 ~ 1pa oralig'ida yuqori siqishni nisbati bor, bu esa nasos chiqish bosimini sezilarli darajada yaxshilaydi.