Pulse Ion Plating texnologiyasi asosida biriktirilgan brilliantli carbonbon (DLC) filmlarini yopishtirish bo'yicha tadqiqotlar - tajriba usuli va usuli

Olmosga o'xshash uglerodli plyonkalar (DLC filmlar) optik nozik kino materiallarining yangi avlodi sifatida mukammal optik, mexanik, elektr, termal va akustik xususiyatlarga ega. Shaffof infraqizil mintaqaning afzalliklari, yuqori qattiqlik, yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, aşınma qarshilik, barqaror kimyoviy xususiyatlar, issiqlikka chidamli qarshilik va boshqalar. Yaxshi foydalanish istiqbollari mavjud.

DLC kino pulsed arc ion qoplama bilan biriktiriladi, bu jismoniy bug 'birikmasini usuli hisoblanadi. Qoplama usuli oddiy. Substratga salbiy tanqislik qo'shish va qoplama jarayonida gazni vakuum kamerasiga to'ldirish shart emas. Qoplama jarayoni yaxshi takrorlanadigan xususiyatga ega va katta hajmli sanoat ishlab chiqarishi uchun mos keladi. Ushbu uslub bilan qoplangan DLC film qatlami yuqori toza, yaxshi optik shaffoflikga ega; qat'iy kimyoviy xususiyatlar va yaxshi aşınma qarshilik. U mukammal infraqizil kino va himoya film sifatida foydalanish mumkin.

Olmosga o'xshash uglerod plyonkalari chetdan olib kelingan vakuumli qoplama qurilmalari bilan qoplangan. Qurilma uchta ion manbasini o'z ichiga oladi: substrat yuzasini tozalash va isitish uchun ishlatiladigan gazli ion manbai; oraliq o'tish qatlamini qoplash uchun metall Ti katotli magnitli filtrlash bilan doimiy katotli ko'pqo'shma ionlari manbai; uchinchi ion manbai - grafit katotli va kamon qutbli impulsli boshq ion manbai. U olmos kabi uglerodli kinolarni qoplash uchun ishlatiladi.

Eksperiment printsipi va usuli

Darbeli arka ion manbai katot, anote va arter elektrodidan iborat. Katod bug'langan materialdan tayyorlanadi va ion manbai maxsus ishlab chiqarilgan anotega ega. Ion manbalarining katodi tomonidan hosil qilingan vakuumli ariq bu katot materialining bug'lanishi va ionlashiga olib keladi, plazma hosil qiladi, bir tomondan, substrat ustida qoplama hosil qiladi va boshqa tomondan esa, bir boshq tushiradi. Sovuq katodli yassi oqimining elektron emissiya mexanizmi, asosan, elektron elektron emissiyasi hisoblanadi va maydon emissiyasi katot yuzasida kuchli elektr maydonni yaratish kerak. Shuning uchun ion manbalarining katot va anotlari o'rtasidagi potentsial farq faqat etarli emas, shuning uchun kamonni urish kerak. Qurilma artez elektrodlari o'rtasida kichik oqim tushiruvchi va oldingi ionlashni hosil qiluvchi arter elektrodini qo'llaydi va katod va anodning (odatda 40V va 400V) ikkita asosiy elektrodlari orasida juda yuqori kuchlanishni qo'llaydi. Gazni va bug'lanishni ajralib olish uchun ajralib chiqamiz.

Ish jarayonida vakuum kamerasi 2x10 ^-3 Pa ga evakuatsiya qilinadi va C1 va C2 kondansatörlari zaryadlanadi, bu esa SCRga signalni beradi. Quyosh elektrodlari orasida kichik oqim dezinfeksiyasi hosil bo'ladi. Anote va katod o'rtasida Supero'tkazuvchilar qatlam mavjud. Katotoktor C1 katod va anote o'rtasida chiqariladi. Kondansatör tomonidan taqdim etilgan energiya bo'shliqni saqlab qolish uchun yetarli bo'lmagan kondansatör C1 energiyani saqlash bilan bo'shatilishi to'xtaydi.