Asosiy dasturni buzish maqsad

Sputtering maqsadi asosan elektron va axborot sanoatida, masalan, integrallash davri, suyuq kristalli displey, axborotni saqlash, lazer xotirasi, elektron boshqaruv qurilmalari va boshqalar kabi ishlatiladi; shisha qoplama sohasiga ham qo'llanilishi mumkin; yuqori haroratli chidamli materiallarda, korroziyaga chidamlilik, yuqori sifatli bezak mahsulotlari va boshqa sohalarda ham qo'llanilishi mumkin.

Formaning tasnifiga ko'ra, uzoq maqsadga, maqsadga, aylana maqsadga bo'linishi mumkin, maqsadli maqsad metall maqsadlarga, qotishma maqsadli materiallarga, turli dasturlarga mos keladigan keramika birikma maqsadiga bo'linadi va keramik yarim o'tkazgich bilan bog'liq maqsadga, maqsadli, maqsadli, maqsadli, maqsadli, maqsadli, maqsadli, maqsadli, nobud metalning ingichka kino rezistorining magnitli ro'yxatga olish disklari, maqsad, maqsad, o'tkazgichli kino sirtini modifikatsiya qilish uchun qatlamli niqobga mo'ljallangan maqsadga mos keladigan seramika maqsadli keramika maqsadini, super o'tkazuvchanlovchi keramika maqsadli materialini va yirik magnetoresistans seramika maqsadini namoyish qilish , maqsadli, maqsadli, maqsadli, dekorativ qatlamli elektrod paketining maqsadi, magnetronli porlash printsipining maqsadi: pog'ona maqsadidagi (katot) kompozitsiyaga va magnit maydoni, elektr maydon va anodga muvofiq, yuqori vakuum kamerada Inert gazlar kerak bo'ladi (odatda Ar), doimiy magnit 250-250 Gaussni tashkil qiladi maqsad materiallar yuzasida magnit maydon. Ortogonal elektromagnit maydon yuqori kuchlanishli elektr maydondan iborat. Elektr maydonining ta'siri ostida, Ar gazining ionlashuvi ionlarga va elektronlarga, yuqori salbiy kuchlanishli maqsadga va magnit maydonning elektron maqsadidan ta'sirida ishlaydigan gazga ionlash ehtimolidan yuqori bo'lgan holda, yuqori zichlikli plazma hosil bo'lishi Katodning yaqinida, Lorenz kuchida Ar ionlarining o'rni maqsad sirtigacha tezlashtirildi. Maqsad juda yuqori tezlikli bombardimon maqsadli sirtda, maqsad atomik bo'lib, maqsad sirtidan substratga biriktirilgan plyonka yuqori kinetik energiya bilan momentum konversiyasining printsipiga rioya qilindi. Magnetronli pushtirish odatda ikkita turga bo'linadi: filialning chirishi va chayqalish filiali bo'lib, unda po'choqni pog'lantiruvchi qurilma printsipial ravishda oddiy va tezda porlab ketadigan metallga o'xshaydi. Radiochastota sputtering keng tarqalgan bo'lib, u Supero'tkazuvchilar materiallar bilan bir qatorda oksid, nitrit va karbidlarni va boshqa birikmalarni tayyorlash uchun reaktiv porlashni ham beradi. Agar chastotasi chastotasi oshsa, mikroto'lqinli plazma pufakchasiga aylanadi, odatda elektron siklotron rezonansi (ECR) turi mikroto'lqinli plazma pasayadi.

Magnetronli pushti qoplamali maqsad:

Metall qotishma pushti maqsad, püskürtme maqsadi, püskürtme keramika maqsadi, karbonat seramika keramika karbür seramika flüorür seramika püskürtme nitrat seramika oksidi seramika maqsad söndürme, selenide seramika püskürtme seramika silikat püskürtme sulfid seramika püskürtme tülitür seramika püskürtme boshqa seramika maqsadlar, krom qatlam silikon oksidi seramika maqsadli (Cr-SiO), indiy fosfit (InP), mishyak maqsadli maqsad (PbAs), InAs maqsad (InAs) maqsadidir.

Yuqori soflik va yuqori zichlikli pushtirish maqsadlari:

Sputtering maqsadi (tozaligi: 99,9% -99,999%)

1. metall maqsad:

Maqsad, Ni, nikel titan maqsad, Ti, Zn, Cr, Zn, Mg, Cr, maqsad Mg, maqsad Nb, maqsad, maqsad niobium kalay, Sn, alyuminiy maqsad va Al-maqsad, In, temir va indiy maqsad, Fe, maqsad , ZrAl, Zr Al Ti va Al maqsadlari, TiAl, zirkonli maqsad Zr, AlSi, silikon alyuminiy silikon maqsad, maqsad Si, maqsad Cu, maqsad T mis, tanantal maqsad, Ge, A, Ge, Ag, kobalt kumush maqsad maqsad, Co Maqsad - maqsadli, yttrium, lanthanum, seryum, maqsad, Ye, V, zanglamas po'latdan, nikel kromidan maqsadli, maqsadli va Hf, NiCr, hafniyum molibdenli maqsad va Mo maqsad, FeNi, temir nikel, volframli maqsad, V metalning porlash maqsadi.

2. keramik maqsad

Temir oksidi silikon nitridi, titanium nitridi, silikon karbid maqsadli maqsadli maqsad, sink oksidi krom, sink sulfid, silika maqsad, maqsad silikon oksidi, seryum oksidi maqsadi, maqsad, maqsad, maqsad, maqsad, maqsad ikki maqsad va ikkita zirkon oksidi, titanium dioksidi, niobyumning ikki maqsadi zirconia maqsadli ikkita maqsad va ikkita zaharli oksidning maqsadi, ikkita zirkonyum borid titanium diboridi, tungsten oksidi maqsadi, maqsad, ikki tantal oksidi beshta ikkita alyuminiy oksidi oksidlanishini, ikkita niyobyum maqsad, maqsad, maqsad yttrium florür, magnezium flüorür, sink selenid maqsad alyuminiy nitrür maqsad, silikon nitrür maqsadi, bor nitrür titanium nitrit silikon karbür maqsad, maqsad, maqsad. Maqsad, maqsad, lityum niobat titanate praseodymium bariy titanate maqsad, lantan titanate va nikel oksidi seramika maqsad püskürterek maqsad.

3. qotishma maqsadi

Ni Cr qotishma maqsadi, nikel vanadiyli qotishma maqsadi va alyuminiy silikon qotishma maqsadi va nikel mis qotishma maqsadi, titanium alyuminiy qotishma, nikel vanadiyli qotishma maqsadi va bor qotishma maqsadi, ferrosilikon qotishma maqsadi yuqori poklik qotishma püskürtme maqsadi.