Ionizatsiya vakuum o'lchovi printsipi

Kam bosimli gazda gaz molekulalarining ionlash natijasida hosil bo'lgan ijobiy ionlarning soni gaz bosimiga mutanosib. Ionlashtiruvchi vakuum o'lchagichi gazning bosimi muayyan sharoitlarda gazlarni ionlash natijasida hosil bo'lgan ionlashtirilgan oqimga mutanosib bo'lgan printsipga asoslangan vakuum o'lchash vositasidir.

Ion ishlab chiqarishning turli usullariga ko'ra, issiq katalod bilan gazni ionlash uchun vakuum o'lchagichi elektronlarni emitadi, bu issiq katotli ionlashtiruvchi vakuum belgisi deb nomlanadi va issiq katotli ionlash ko'rsatkichi issiq katot o'lchagich trubkasidan va o'lchash vositasidan iborat. O'lchash moslamasi o'lchov quvurlari manbaidan va oqim regulyatoridan, ion oqim o'lchash kuchaytirgichidan iborat. Katodli ionlash ko'rsatkichi katodli, eshik va kollektorli triod bo'lgan o'lchovli vakuum tizimi bilan bog'lanadi. Kolektorning elektr potentsiali katot salbiy potentsialiga bog'liq, bu esa katotning musbat potentsialiga bog'liq. Ionlash ko'rsatkichi elektrlashtirilganda va qizdirilganda, katot elektronlar chiqaradi, u gazlar molekulalari bilan gridga chiqish jarayonida to'qnashadi, bu esa ijobiy ionlar va elektronlarning ionlashiga olib keladi. Emissiya oqimi aniqlanganida, ijobiy ionlarning soni sinov ostida bo'lgan bosim bilan mutanosib bo'ladi. Ijobiy ion to'planganidan so'ng, o'lchash davri orqali ijobiy ion kuchaytiriladi va o'lchov qilinadigan vakuum darajasi ma'qullash metriori bilan o'qilishi mumkin.

Issiq katodli ionlash ko'rsatkichi silindr shaklidagi plastinka (ion kollektor) C dan tashkil topgan va panjara katot filamentli tarmoqning markazida joylashgan, f-dan tashkil topgan shaklda ko'rsatilganidek, triod o'lchagichiga o'xshaydi. silindr shaklidagi plitalar anodli panjara tashqarisida.

Shakl b tashqi nazorat devori bo'lib, grid salohiyati +100 ~ +300 V oralig'ida va plastinka potentsiali 0-050V oralig'ida. Elektr isitgichidan keyin F katod filamentining elektronlarini chiqaradi. Anote geni ijobiy kuchlanish bo'lgani uchun, chiqadigan elektronlar tezlashadi, elektronlar ichki gaz molekulalari bilan to'qnashadi, shuning uchun gaz molekulalari ionlashishi, gaz bosimi qanchalik katta bo'lsa, gaz zichligi qanchalik katta bo'lsa, to'qnashuv uchun ko'proq imkoniyatlar, undan ijobiy ionlar paydo bo'lishiga olib keladi. Plastinka oqimini shakllantirish uchun ijobiy ionlar ta'sirida silindrsimon plastinkadagi salbiy kuchlanishdagi ijobiy ionlar molekulyar gaz zichligi (ya'ni bosim kattaroq) qancha ko'p bo'lsa, plastinkaning oqimi katta bo'ladi, aksincha, kichikdir. O'lchov doirasidagi plastinkaning oqimi o'lchagan bosim bilan mutanosib.

Vakuum tizimi atmosferani ifodalaganida, u ionlashtiruvchi o'lchagichli shisha g'isht yuzasi va elektrodning yuzasiga juda ko'p gazlarni singdiradi. Vakuum muhitida gaz qayta ochiladi, bu o'lchovlarning aniqligiga ta'sir qiladi. Ushbu ta'sirni bartaraf etish uchun o'lchov quvurlari o'lchashdan oldin gazni tozalash kerak. Ionlash ko'rsatkichi yuqori pog'onali indüksiyonli isitish yoki elektron bombardmani ishlatadigan plastinka elektrodida o'lchov oldidan gaz chiqarilganda, pishirish usulini degassatsiyalash uchun ishlatiladi, ya'ni filament va panjara energiya berilishi va qizdirilishi mumkin. Umumiy ionlashtiruvchi vakuum belgisi vakuumning darajasi 1 × 10 ^-2 dan ortiq bo'lsa degasatsiya funksiyasiga ega. Pa, spesifikatsiyaga muvofiq ionlash ko'rsatkichini gazsizlantirish uchun ishlatiladi.