Turbinli molekulyar nasosning ishlashi va afzalliklari

Turbo molekulyar nasosi - bu momentumni gaz molekulalariga etkazish uchun harakatlanuvchi pervanenin yuqori tezlikda aylanishini qo'llash, gazni vakuum nasosining yo'naltirilgan oqimini hosil qilishdir. Turbo molekulyar nasos asosan nasosi korpusining qismlari, pichoq bilan rotor (ya'ni harakatlanuvchi pervaz), statik pervan va haydovchi tizimi.

Afzallik

Turbo-molekulyar nasos bo'lib, ba'zi jihatlarda, kriogen nasosidan, ion nasosidan va difüzyon pompasının ishlashidan ustundir. Shuning uchun, umumiy holda, turbo nasoslardan ko'proq foydalanish.

(1) Toza, yog'siz bug 'refluksi

Turbo molekulyar nasos hech qanday quduqdan ishlamaydi va pompalanadigan konteyner uchun toza vakuum muhitini ta'minlaydigan va uglevodorodlarni o'z ichiga olmaydi.

(2) foydalanishga qulay

Ko'pgina ilovalarda turbo nasoslar yuqori vakuumli vanalar yoki qo'pol vakuum klapanlarni talab qilmasligi mumkin. Faqat tugmani bosing, nasos ishlay boshlaydi, atmosfera bosimidan yakuniy bosimni pasaytirishi mumkin. Tizim turbo-molekulyar nasoslar tomonidan qo'pol ravishda pompalanadi va ish tezligiga qadar tezlashtirilishi mumkin. Bu valf, quvur, tutqich, valf tekshiruvi va boshqa vakuum komponentlariga bo'lgan ehtiyojni bartaraf qiladi. Bundan tashqari, ushbu komponentlarning bajarilmaganligi ham yo'q emas.

(3) kuchli gaz tashish hajmi

Ko'pgina turbo molekulyar nasoslar vodorod va geliy kabi engil gazlarni etkazib berish uchun kuchli qobiliyatga ega bo'lib, ularni ultra yuqori vakuum ostida qayta ishlash jarayonida ideal qiladi. Korroziv gazlarni ajratish uchun maxsus mo'ljallangan turbo-molekulyar nasos, aşındırma, reaktif ion aşındırma, ion nurlarini ishlov berish, past bosimli kimyoviy bug 'cho'kishi, epitaksi va ionlarni joylashtirish jarayonlariga mos keladi. Jarayonlarda evakuatsiya qilingan gaz kriogenli nasoslarni, ionli nasoslarni, diffuziya nasosining yog'larini bartaraf etishi va hatto standart himoyalanmagan turbo molekulyar nasoslarni ham yo'q qilishi mumkin. Turbo-molekulyar nasos transmisyon nasosiga tegishli bo'lgani uchun pompalanan gaz nasoslarda to'planmaydi, shuning uchun u yuqori gaz bilan ishlov berish uchun mos keladi.

(4) Ultra yuqori vakuum ilovalari uchun javob beradi

Muhrlash va degradatsiyalash uchun yaxshi turbo molekulyar nasos yaxshi ishlashga ega bo'lgan ikki bosqichli aylanma nasos bilan jihozlangan (yoki bir xil quruq old nasos). Eng katta vakuum ^10-9 dan 10 ^-10 Torrga (133,3 dan 13,33 nPa) yetishi mumkin. Agar turbo-molekulyar nasos boshqa turbo-molekulyar nasosga metalli va yaxshi gazlangan nasos yordamida ulangan bo'lsa, uning yakuniy bosimi odatda 1 × 10 ^-10 dan 1 × 10 ^-11 Torr (13,33 dan 1,333 nPa) orasida bo'ladi. Kriogen nasoslardan yoki ion nasoslardan farqli o'laroq, turbo molekulyar nasoslar ultra yuqori vakuum sharoitida to'liq nasos tezligida ishlaydi.

(5) Yuqori bosim ostida yaxshi ishlash

Ba'zi turbo molekulyar nasoslarning kirish bosimi 10-1 va 10 ^-3 Torr (13.33 Pa dan 133.3 mPa) oralig'ida ishlaydi. Ushbu bosim diapazonida ion nasosidan foydalanilmaydi, chunki kriyojenik nasos nasos tezligini yoki muntazam yangilanishini kamaytirishga to'g'ri keladi va diffuziya nasosining ishi beqaror bo'lib qoladi.

(6) Qisqa vaqt oralig'i

Turbo molekulyar nasoslarning ko'pchiligi, ayniqsa kichikroq, odatda normal ishlaydigan tezlikni olish uchun 1 minutgacha kerak. Har xil turdagi va modellarga tegishli nasoslar farq qiladi va darhol yopilishi va atmosferaga ta'sir qilishi mumkin.

(7) Uzoq vaqt davomida normal foydalanish

Ba'zi ilovalarda turbo molekulyar nasosning normal ishlatish vaqti boshqa nasoslardan ustun turadi. Og'ir gaz yuk va vana oqimi tufayli, kriogen pompasi tez-tez o'zgaruvchan intervalli regeneratsiya yoki ion nasosini tez-tez ta'mirlashiga olib keladi va vakuum kamerasining nasosi yoinki ifloslanishini bartaraf etish uchun turbo-molekulyar nasosdan foydalanish mumkin.