Vakuum qoplamali mashinaning ishlash usuli qo'llanilishidir

Vakuumli qoplama mashinasi yuqori vakuumda ishlaydigan bir qoplama vositasi. Bu ikki xil bug'lanish va shilimshiqlikka bo'linadi.

Bug'lanish qoplama jarayoni, odatda, maqsad materialning sirt komponentlarini atomik yoki ion shaklida bug'lanadi va substrat yuzasiga biriktirib, kino hosil bo'lish jarayonida nozik kino hosil qiluvchi isitish maqsadli materialdir.

Sputtering qoplamasini maqsadni bombardimon qilish va maqsad sirt qismlarini atom yoki ionlar shaklida porlashi uchun elektronlar yoki yuqori energiyali lazerdan foydalanish sifatida tushunish mumkin va oxir-oqibat substrat yuzasiga saklanib, kino shakllanishi jarayonida nozik kino.

Qadamlardan foydalaning:

1. Vakuum qoplamasi uchun elektromexanik boshqaruv kabinetining ishlash usuli

(1) Suv pompasını va havo manbasini oching.

(2) Asosiy quvvatni yoqing.

(3) Vaktsiyaning o'lchash pompasi va vakuum o'lchagichining quvvat manbaini, V1 pozitsiyasini vakuum ko'rsatkichini oching, uning qiymatini 10 dan kam kutib turing va keyin keyingi operatsiyani kiriting. Ehtimol, besh daqiqa kerak.

(4) Mexanik nasosni oching, oldindan nasoslarni ishlating, turbo molekulyar nasos quvvatini oching va molekulyar nasosni ishga tushiring. Vakuum o'lchov detallari V2 holatiga o'tadi. Vakuum darajasi 2 dan kamroq vaqtga pompalangach, nasosni to'xtating va 20 daqiqa davom etadi.

(5) Maqbara molekulyar nasosining o'qishlari 250 ga etganda, old nasos yopiq bo'ladi, so'ngra yordam pompasini oching va yuqori vakuumli vanalar evakuatsiya qilishni davom ettiradi. Vakuum 2 × 10-3 ga yetgandan keyin, elektron qurolning elektr ta'minoti yoqilishi mumkin.

2. Vakuumli qoplama mashinasining ishlashi

(1) Asosiy quvvatni yoqing.

(2) Bir vaqtning o'zida I va II elektron tabancani nazorat qilishni oching: elektron tabancani nazorat qilish I kuchiga, kechiktirishni sozlagichiga, keyin esa kechiktiruvchi yorug'likka, kuch-chiroqqa va himoya chiroqqa qadar yonadi. Uch daqiqadan so'ng kechikish nuri va himoya chiroqchasi o'chadi. Orqa eshik yopiq yoki oqim o'rni noto'g'ri bo'lsa, himoya chiroq har doim yoniq bo'ladi.

(3) Yuqori bosimni oching, yuqori bosim 10 kV dan oshadi, shamni taxminan 200 mA ga sozlang, qalqon panjasi 20V / 100mA, filaman oqimi 1,2A, burilish oqimi aylanmasi 1 ~ 1.7.

3. Vakuumli qoplama mashinasining yopish tartibi

(1) o'lchov qurilma va molekulyar nasosi o'chirib qo'ying.

(2) Molekulyar nasos 50 ga teng bo'lganida, yuqori vakuumli vana, orqa nasos va mexanik nasos ketma-ketlikda yopiladi. Ehtimol, 40 daqiqa kerak.

(3) Molekulyar nasos 50dan kamroq bo'lsa, ushlab turadigan pompani yoping.