Mass Flow Controllerning tan olinishi

Ommaviy oqimlarni tekshirgich (MFC) gazning massa oqimini aniq o'lchash va boshqarish uchun ishlatiladi. Odatda oqim sezicisi, oqim nazorat valfi, kuchlanish nazorat qilish davri va shamol nazorat kanali iborat. Uning ishlaydigan quvvat manbai va oqimlarni ko'rsatish va sozlash operatsiyalari uni qo'llab-quvvatlaydigan oqim manbai bilan elektr ta'minoti bilan ta'minlanadi.

Foydalanish va xususiyatlar

MFC yarimo'tkazgich mikroelektronika sanoati, maxsus moddiy ishlab chiqarish, kimyo sanoati, neft sanoati, tibbiyot, atrof-muhit muhofazasi va vakuum kabi ko'plab sohalarda ilmiy tadqiqot va ishlab chiqarishda muhim o'rin tutadi.

Odatda qo'llanmalar quyidagilardir: diffuziya, oksidlanish, epitaksi, KVH, plazma bo'yoqlari, shikastlanish, ionli implantatsiya kabi elektron asboblar; va vakuum qoplama uskunalari, gaz kromatograflari va boshqa analitik vositalar.

Yuqori aniqlik, yaxshi takrorlanadigan, tezkor javob tezligi, yumshoq start, barqaror va ishonchli ish bosimi oralig'i (yuqori bosim ostida yoki vakuum sharoitida ishlaydigan) massa oqimi tekshirgichi va ommaviy axlat o'lchov vositasi, ishlatish oson. MFC har qanday holatda o'rnatilishi va avtomatik boshqaruvni amalga oshirish uchun kompyuter bilan bog'liq.

Debimetren odatda quyidagi turlarga bo'linadi:

1. Volumetrik xarorat o'lchagich

Mexanik o'lchash elementlaridan suyuqlikni ma'lum miqyosda bir qismga bo'lish uchun doimiy ravishda ishlatadi. Suyuqlikning miqdoriy oqimi o'lchash kamerasidan keyin bir-biridan so'ng suyuqlik miqdori va bo'shliq miqdori bo'yicha aniqlanadi.

2. Float o'lchash moslamasi (rotorli oqim o'lchagich)

Float o'lchash moslamasi vertikal konusda yuqoridan pastgacha o'zgaruvchan maydon oqim o'lchovining turidir, shamolning tortishishining dumaloq tasavvurlari suyuqlik kuchi bilan quvvatlanadi, shunda float konusning ko'tarilishi va tushishi mumkin.

3. Differentsial bosim o'lchagich

Quvurga o'rnatilgan oqim detektori, quvur va quvur o'rtasidagi oqimni hisoblash uchun ma'lum bo'lgan suyuqlik va metrning holatiga ko'ra ishlab chiqarilgan differensial bosimga asoslanadi.

4. Vorteks ko'cha metrlari (VSF)

Nostandart bo'lmagan vorteks generatori suyuqlikka joylashtiriladi va suyuqlik hosil qiluvchi tananing har ikki tomonida navbati bilan muntazam ravishda bir-biriga bog'langan vorteksli asboblarni chiqarib tashlaydi.

5. Turbinli oqim o'lchagich

Bu tezlikni o'lchashning asosiy turi hisoblanadi. Suyuqlikning o'rtacha tezligini sezish uchun juda ko'p pichoqli rotorni (turbina) ishlatadi va oqim miqdori yoki umumiy miqdorni chiqaradi.

6. Ultrasonik oqim o'lchagich

Suyuq oqimni ultratovush nuriga (yoki ultrasonik zarba) ta'sirini o'lchash yo'li bilan oqim o'lchash.

7. Elektromagnit hisoblagich

Elektromagnit o'lchash moslamasi Faraday elektromagnit induktsiya qonuniga binoan suyuqlikning o'tkazuvchanligini o'lchash uchun bir vosita.

8. Issiqlik massasi oqim o'lchami

Termal xarorat o'lchagich sensori ikkita sezgir element, bir tezlik sensori va harorat sensori mavjud. Gazning harorati o'zgarishini avtomatik tarzda bartaraf qilish va sozlash mumkin. Asbobning elektr isitish qismi tezlikni o'lchash datchigini ish holatining haroratidan yuqori bo'lgan ma'lum bir qiymatga qadar qizdirdi, shunda ish tezligi sensori va sensor sensori o'rtasida doimiy harorat farqi paydo bo'ldi. Harorat farqi sobit turganda, elektr isitish bilan iste'mol qilinadigan energiya gaz oqimining massa oqimiga mos keladi va yagona gazni o'lchash uchun va ko'p komponentli gazning qattiq ulushiga mos keladi.