PVD vakuum qoplamasining ichki kuchlanishi va o'lchami
Mar 24, 2018| 1. Stressni kiritish
Ob'ektning tashqi sababi (stress, namlik, va hokazo) tufayli ichki buzilishlar tashqi buzilish ta'siriga qarshi turish uchun ichki kuchlar va shaklni deformatsiyaning oldingi holatiga qaytarish holatiga qaytarish uchun ob'ektni o'zgartirganda. Kesimdagi nuqtada hududning ichki kuchi stress deb ataladi. Oddiy stress kesmaning kesimiga perpendikulyar va kesishning keskinligi kesimga to'g'ri keladi. Tashqi kuchlar kuchayib borgani sababli stress kuchayadi. Muayyan material uchun stressning o'sishi uchun chegaralar mavjud va bu chegaradan yuqori bo'lgan material yo'q qilinadi.
Ba'zi materiallar uchun stress bu chegaraga yetishi mumkin. Eng katta kuchlanish qiymati materialning mexanik sinovi bilan belgilanadi. O'lchangan kuch kuchlanishni cheklash, maksimal stressni oldindan belgilangan xavfsizlikni ta'minlaydigan materialni, ya'ni ruxsat etilgan stressni kamaytirishga mos bo'lishi kerak. Materiallar ishonchli ishlatilishi kerak bo'lsa, undagi stress uning chegara stressidan past bo'lishi kerak, aks holda material ishlatilganda zarar etkazilishi mumkin.
Ichki stress deb ataladigan stressning bir turi mavjud, ya'ni tashqi kuch bo'lmaganida, ob'ektdagi ichki stress ichki stressdir. Va PVD qoplama ichki stress bor. Ichki stressning buzilishi juda katta, shuning uchun ichki stressning hajmi va darajasi ishlab chiqarishda yaxshi o'zlashtirilishi kerak. PVD qoplamalarining asosiy ishlatilishi, ma'lum bir qalinlik va xizmat muddatini talab qiladigan aşınmaya bardoshli himoya qoplamaga o'xshaydi, lekin qoplamadagi ichki stress qoplama qalinligini cheklaydi. Ichki stress tufayli ishlab chiqarilgan birlik hajmining elastik energiyasi birlik maydonidagi singan energiyadan ortiq bo'lsa, qoplama tushadi, shuning uchun qoplangan qoplamaning qalinligi cheklanadi. Umuman, ichki stress, elastiklik modeli va qoplamaning qattiqligi bir-biriga mutanosib. Shu sababli, ishlab chiqarish jarayonida qoplamaning stressi, ayniqsa, ichki stress, jismoniy bug 'birikishi jarayonida nazorat qilinishi kerak. Kaplandıktan so'ng, qoplama ichki stresini aniqlash kerak, shunday qilib qabul qilinadi oralig'ida qabul qilinishi mumkin.
Stressni tekshirish usuli
(1) rentgen va elektron diffraksiyasi
Qoplama stres holatida bo'lganda, kafedra buziladi va kafedra qattiq o'zgaradi. Shu sababli parchalanish sxemasining diffraktsion chiziqlarining kengligi o'zgarishi rentgen va elektronning diffraktsiyasi bilan o'lchanadi. Qoplamaning stressi ma'lum bir formula bo'yicha hisoblanishi mumkin.
(2) namuna deformatsiyasini tahlil qilish
Juda nozik to'rtburchaklar shishadan tayyorlangan bir parcha uchi qoplama apparati vakuum kamerasiga o'rnatiladi va keyinchalik qatlamning bir yuzasiga qoplanadi. Qoplama stressi qatlamning erkin uchi deformatsiyasiga olib keladi va plita telefoto o'lchash mikroskopi bilan o'lchanadi. Keyinchalik, erkin uchidagi bo'sh joy miqdori materialning mexanik formulasidan kelib chiqadi.
(3) Optik interferometriya
Interferometrda standart plastinka va qoplamali substrat o'rtasida hosil bo'lgan qoplama stresining interferometrini o'lchash uchun optik interferometriyadan foydalanib, qoplama stress ta'siri, substrat sirti deformatsiyasi tufayli substrat ustiga qoplangan, keyinchalik standart intervalli shpinlarning o'lchami interferometrda intervalgacha chiziqlarga asoslangan plastinka va qoplangan substrat, materiallar mexanikasining formulalarini qo'llash orqali qoplama stresini hisoblash.
O'n yillardan buyon, vakuumli qoplama apparatini ishlab chiqarish va ishlab chiqarishga bag'ishlangan, vakuumli qoplamali mashinalarni ishlab chiqarishga ixtisoslashgan IKS , eng yangi texnologiyalar doimiy ravishda vakuumli qoplama uskunalari bozorining ehtiyojlarini qondirishga imkon berib, mijozlarga moslashtirilgan texnologiya echimlari va uskunalari