PECVD qanday ishlaydi
Apr 17, 2024| PECVD qanday ishlaydi
PECVD usuli kremniy nitridli yupqa plyonkalarni muvozanatli bo'lmagan plazma xususiyatlaridan foydalangan holda etishtirish uchun ishlatiladi, ya'ni plazma molekulalari, atomlari, ionlari yoki faol guruhlari atrofdagi muhit bilan bir xil bo'ladi va ularning kichik massasi tufayli muvozanat bo'lmagan elektronlar, ularning o'rtacha harorati boshqa zarrachalardan ikki baravar kattaroq bo'lishi mumkin, shuning uchun normal sharoitda ko'plab reaktsiyalarga erishish uchun yuqori harorat (300 ° C -450 daraja C) kerak. Cho'kish jarayonida maxsus gaz NH3 va SiH4 molekulalari yuqori chastota ta'sirida kuchli termal harakatga ega bo'lib, molekulalarini ionlashtirish uchun bir-biri bilan to'qnashadi va keyin SiNx hosil qiladi.
IKS PVD kompaniyasi, dekorativ qoplama mashinasi, asboblarni qoplash mashinasi, DLC qoplama mashinasi, optik qoplama mashinasi, PVD vakuumli qoplama liniyasi, kalit loyihasi mavjud. Biz bilan hozir bog'laning, E-mail: iks.pvd@foxmail.com