Ion nurlarini qayta ishlash xususiyatlari:

Ion nurlarini qayta ishlash xususiyatlari:

(1) Ion nurini elektron optik tizimlar orqali fokuslash orqali skanerlash mumkinligi sababli, ion nurini bombardimon qiluvchi materiallar atom qatlamini qatlam orqali olib tashlaydi, ion nurlari zichligi va ion energiyasi aniq nazorat qilinishi mumkin, shuning uchun ion nurlanish nanometrga (0,001 nm) ishlov berish aniqligiga erishishi mumkin. Ion qoplamasini sub-mikron darajasida boshqarish mumkin, va ion implantatsiyasining chuqurligi va kontsentratsiyasini juda aniq boshqarish mumkin. Shuning uchun ion nurlari barcha maxsus ishlov berish usullari orasida eng aniq va mikro ishlov berish usuli bo'lib, zamonaviy nanometrni qayta ishlash texnologiyasining asosidir.

(2) Ion nurlarini qayta ishlash yuqori vakuumda amalga oshirilganligi sababli, u kamroq ifloslanishga ega va ayniqsa oson oksidlangan metallar, qotishma materiallari va yuqori darajadagi yarimo'tkazgich materiallarni qayta ishlash uchun javob beradi.

(3) Ion nurlarini qayta ishlash, materialning yuzasiga atomlarni ionlar bilan bombalash orqali amalga oshiriladi. Bu mikro effektdir, so'l bosimi juda kichik, shuning uchun ishlov berish zo'riqishi, termal deformatsiya va boshqa kichik, yuqori ishlov berish sifati har qanday materiallarga va past qattiqlik qismlariga ishlov berishga mos keladi.

(4) Elektron nurining intensivligi, pozitsiyasi va yo'nalishi to'g'ridan-to'g'ri magnit maydon yoki elektron tomonidan boshqarilishi mumkin, shuning uchun butun jarayon avval avtomatlashtirilishi qulay. Ayniqsa, elektron nurlar ta'sirida, ishlov berish joyidan tortib, qayta ishlash grafigini skanerlashgacha. Avtomatlashtirilgan bo'lishi mumkin. Elektron nurlarini burg'ulash va kesish paytida, kavisli kesishga erishish uchun maxsus shaklli teshiklarni elektr nazorati bilan qayta ishlash mumkin.

IKS PVD Elektron nurli optik qoplama mashinasi K IKS-OPT2700, Qo'shimcha ma'lumotlar, xushxabar bilan bog'lanish iks.pvd@foxmail.com