Vakuum o'lchagichlarining klassifikatsiyasi
Jul 03, 2018| 1. Vakuum kalibrlash usuli bilan tasniflanadi
(1) Mutlaq vakuum ko'rsatkichi: to'g'ridan-to'g'ri gaz bosimini o'qish. Uning bosimiga javob (o'lchov) o'z geometriyasi orqali hisoblanishi mumkin yoki o'lchash kuchiga bog'liq. Mutlaq vakuum ko'rsatkichlari barcha gazlar uchun aniqdir. U tipli o'lchov o'lchagichlari, siqish o'lchagichlari va termal radiatsiya o'lchagichlari mutlaq vakuum ko'rsatkichlariga tegishli.
(2) Nisbiy vakuum belgisi: bosim gaz bosimiga bog'liq miqdor bilan o'lchanadi. Oddiy hisoblash yo'li bilan o'lchamasligi va o'lchamlarini sozlash kerak. Nisbatan vakuum o'lchagichi, odatda, nazorat qilish va ko'rsatgich uchun ishlatiladigan sensorlar va o'lchov vositasi sifatida ishlaydigan vakuum o'lchov quvuridan (yoki o'lchagichli boshdan) iborat. O'qish gaz turi bilan bog'liq. Issiqlik o'tkazuvchi vakuum o'lchagichlari va ionizatsiya vakuumlari kabi nisbiy vakuum ko'rsatkichlarining ko'p turlari mavjud.
Vakuum o'lchash usuli bilan o'lchash
2.1. To'g'ridan to'g'ri o'lchash vakuum o'lchagich
Bunday vakuum o'lchagichi to'g'ridan-to'g'ri birlik hududida quvvatni o'lchaydi, shu jumladan:
(1) Statik suyuqlik darajasi vakuum ko'rsatkichi: bosim U shaklidagi naychaning ikkala uchida suyuqlik darajasi farqlari bilan o'lchanadi.
(2) Elastik element vakuum o'lchagichi: Vakuumga bog'langan idishning sirtini elastik deformatsiyalari hosil qilish uchun bosim o'tkaziladi. Bosim qiymatining kattaligi elastik deformatsiya bilan o'lchanadi.
2.2. Bevosita o'lchash vakuum o'lchagichi
Bosim 10 -1 Pa bo'lsa, 1 sm 2 ga teng bo'lgan kuch-quvvat faqat 10-5 N dir va bunday kichik kuchni o'lchash mushkul. Biroq, bosim o'zgarishi past bosim ostida gaz bosimiga bog'liq fizik miqdordagi o'zgarishlarga asoslangan bilvosita tarzda o'lchanishi mumkin. Ushbu turdagi vakuum o'lchagichi, shu jumladan:
(1) Kompressorli vakuum o'lchagichi: Boyl qonunini U-trubasi asosida qo'llash, ya'ni tekshiriladigan gaz miqdori izotermik bosimni oshirib, bosimni oshiradi, shuning uchun U-trubkasi vakuum o'lchagichi. Keyinchalik miqyosi va bosim o'rtasidagi munosabatlar yordamida o'lchangan bosimni hisoblang.
(2) Issiqlik o'tkazuvchanligi vakuum ko'rsatkichi: Past bosim ostida gazning issiqlik bosimi bosim bilan bog'liqligi printsipiga asoslanadi. Odatda ishlatiladigan termal vakuum ko'rsatkichlari qarshilik vakuum o'lchagichlari va termokuplli vakuum ko'rsatkichlari.
(3) Termal radiatsiya vakuum o'lchami: issiqlik radiatsiyasi va bosim printsipidan foydalanish.
(4) İyonizasyon vakuum belgisi: Gaz molekulalarining past bosim ostida zaryadlangan zarralar tomonidan ta'sir va iyonize bo'lish printsipi va ishlab chiqarilgan ion oqimi elektr kuchi bilan o'zgaradi. Ionizatsiya vakuum o'lchagichlari issiq katotli ionlashtiruvchi vakuum o'lchagich, sovuq katotli ionlashtiruvchi vakuum o'lchagich, radioaktiv ionlashtiruvchi vakuum o'lchagich va boshqalarni o'z ichiga oladi.
(5) Evakuatsiya quvurining indikatori: Vakuumning darajasi gaz tushirish holati va oqimining rangi va bosimi tabiati bilan o'lchanadi va odatda sifatli o'lchov sifatida ishlatilishi mumkin.
(6) Viskoz vakuum belgisi: Bosimning o'lchami uchun tashqi ishqalanish printsipi ishlatiladi. Diafragma vakuum o'lchagichi va magnit ishlab chiqarish rotorli vakuum o'lchagichni o'z ichiga oladi.
(7) Dalaga kiritilgan mikroskopiya: bosim adsorbsiya va desorbsiya vaqti va bosim o'rtasidagi munosabatlar bilan aniqlanadi.
(8) Qisman bosim vakuum belgisi: massa spektrometriyasi texnikasi aralash gazning qisman bosimini o'lchash uchun ishlatiladi. Ko'p ishlatiladigan o'lchovlar to'rtburchak massa spektrometrlari, siklotron massa spektrometrlari va radio chastotali massa spektrometrlari.