Magnetronli Katodli Sputtering Maqsadi Tasnifi
Jun 08, 2018| Magnetronning pushtirish maqsadi - vakuumli qoplama mexanik qismlari, shuningdek, quvvatli elektron qismlarga. Maqsadli elektr ta'minotidan foydalanish nuqtai nazaridan, biz uning elektr ishlashidan ko'proq tashvishdamiz.
1. Mexanik tuzilishga muvofiq
Mexanik struktura va maqsadli shaklga muvofiq, magnetronning pushtirish maqsadi asosan tekisliklar (burchakli yoki dumaloq) magnetronli maqsadlarga, koaksiyal majburiy magnetron maqsadlarga, halqa shaklida konusli magnetronli maqsadga (S-gun) va boshqalarga bo'linadi.
2. Planar maqsadli materiallarga muvofiq
Düzlemsel maqsad planar dikdörtgen magnetron maqsadga, düzlemsel dairesel magnetron maqsadga va arka-magnetron ikki tomonlama kompozit struktur düzlemsel maqsadga bo'linadi.
Magnit maydonga ko'ra
(1) Magnetron maqsadlar magnit maydonning shakllanish uslubiga qarab doimiy magnit va elektromagnitlarga bo'linadi.
(2) Vakuum xonasida magnetronli maqsadning joylashishi va tarqatish pozitsiyasi va magnit qutblar va magnit chiziqlar taqsimotidagi farq o'rtasidagi farqlarga ko'ra muvozanatli magnetronli porlash va muvozanatsiz magnetronli porlash (taqsimlanmagan magnetronli porlash plazma sirt kino qatlami sifatini va profilli ishlov beriladigan buyumning keng maydonli ionlarni cho'ktiruvchi ta'sirini yaxshilash uchun maqsadli sirtdan uzoqlashtirishi mumkin.) Ko'p maqsadli yopiq magnit maydon muvozanatsiz magnetronli pushtirish tizimi yuqori tortish tezligi va yuqori sifatli ingichka kino .
(3) Magnetronli pushtning maqsadidagi balanssiz magnit maydoni faqat ichki va tashqi doimiy magnitlarning o'lchami va kuchini o'zgartirish orqali emas, balki ikkita elektromagnit sarg'ish to'plam yoki elektromagnit sariqlarning aralash strukturasi va doimiy katot va substrat o'rtasida magnit maydonini o'zgartirish va katoddagi ijobiy ionlar va atomlarning nisbatlarini eng yaxshi natijalarga erishish uchun nazorat qilish uchun katot va substrat o'rtasida qo'shimcha solenoidlar qo'shiladi.