Vakuum darajasining tavsifi, vakuum mintaqasi bo'linmasi va bo'linishi

Vakuum darajasining tavsifi, vakuum mintaqasi bo'linmasi va bo'linishi

IKS PVD, biz PVD vakuumli qoplama uskunalarini ishlab chiqaramiz, endi biz bilan bog'laning, iks.pvd @ foxmail.come

Vakuum darajasini vakuum darajasini ifodalash uchun bosimdan foydalanish oqilona emas, u u tipli manometr yordamida vakuumni o'lchash tarixida qo'llanilgan.

Odatda vakuum tizimida vakuum darajasini ifodalash uchun odatda izotropik neytral gaz bosimining gidrostatik fizik miqdori ishlatiladi. Shuning uchun vakuum darajasini o'lchash faqat bosimni o'lchashga tushadi. Shu bilan birga, cheklangan konteynerda statsionar (tasodifiy harakat), barqaror holat va izotropik neytral gaz bo'lgan o'lchov shartlariga alohida e'tibor berish kerak. Bu erda maxwell tezligini taqsimlash, kosin sintez qonuni va gidrostatik bosim kontseptsiyasi (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = r gh) ob'ektiv haqiqatga nisbatan mos keladi, vakuum darajasini o'lchash nisbatan oddiy va oson.

Vakuum darajasining ta'rifiga ko'ra, vakuum darajasini molekulyar zichlik n bilan ifodalash yaxshi bo'ladi va bosim bilan vakuum darajasini ifodalash uchun zid emas. Bosim o'lchanadigan bo'lsa, u odatda muvozanat holatida bo'ladi va maxwellning tezlikni taqsimlash qonuniga to'g'ri keladi, ya'ni p = nkT haqiqiydir. Gazning harorati o'lchash vaqtida sobit bo'ladi, shuning uchun gazning bosimi molekulyar zichlik n bilan proportsional bo'ladi. Boshqacha aytganda, bosim molekulyar zichlikning o'lchovidir, shuning uchun vakuum bosim sifatida ifodalanishi mumkin.

Kosmik tadqiqotda tadqiqot ob'ekti cheksiz kosmik harakatlar (1 ~ 10 KMS - 1 yoki undan yuqori) va murakkab bo'lmagan, integratsiyalangan muhit muhitining ta'siri ostida Max tezlikni taqsimlash qonuni va kosinaviy sochlar qonuni, shuningdek, original jismoniy ma'no yo'qotdi, shuning uchun vakuum o'lchash bosimi murakkab va murakkab.

Umuman olganda, u mashhur va vakuum darajasini bosim bilan ifodalash uchun ishlatiladi, ammo bu faqat bitta emas. Vakuum darajasini ifodalash uchun quyidagi parametrlar ham foydalanish mumkin:

Vakuum darajasi juda yuqori bo'lsa, ya'ni molekulyar zichlik juda kichik bo'lsa, statistik o'zgarish juda aniq. Misol uchun, bosim p = 10-12pa bo'lganida, statistik dalgalanma 5 barobar ko'p 10-2 va bosim haqiqiy ahamiyatini yo'qotdi. Shunday qilib, ayrim hollarda bosim boshqa miqdordagi nisbiy ko'rsatkichdir .

1. Q & A

Vakuum qitish?

Bir gaz molekulasini sirt ustida to'qnashuvi bilan aniqlangan gaz bosimi, gaz massasining bir qism sirt maydoni bilan to'qnashuvi, ya'ni Paskalning birligi bo'yicha qabul qilingan quvvatning vertikal tarkibiy qismining vaqt o'zgarishi hisoblanadi yoki Pa.

1 Pa = 1 Nm - 2 ga teng

Muhandislik sharoitida, ba'zan pa qiymati juda kichik, kPa va MPa ko'pincha bosim ko'rsatish uchun ishlatiladi. Kam vakuum, ba'zida suv vakili vakuum pompasi, reaksiya qiluvchi vakuum pompasi va tekis havo ildizlari vakuum pompasi kabi vakuum foizlari sifatida ifodalanadi. Bosim p> 102Pa bo'lsa, vakuum foizi delta hisoblanadi.

Qaerda: p0 - standart atmosfera bosimi, Pa

Vakuumni rayonlash

Vakuum darajasini o'lchash uchun birlik bilan vakuum darajasini kantitativ ifodalash mumkin. Biroq hozirgi vaqtda vakuum texnologiyasiga taalluqli bosim oralig'i 20 turdagi buyurtma darajasiga yetdi, ulardan foydalanishni engillashtirish uchun, ba'zida faqat umumiy vakuum darajasini ko'rsatishi kerak, odatda sifat jihatidan bir necha hududlarga taxminan vakuum . Vakuum holatidagi gaz molekulyar harakatining jismoniy xususiyatlari va vakuum pompasi va vakuum o'lchagichning samarali ish oralig'i hududlarni bo'linishi asosida ko'rib chiqiladi.

Xitoyda vakuumli hududlarni taqsimlash masalasiga kelsak, vakuum texnologiyasi (gb3163-1982) quyidagilarni nazarda tutadi:

Qattiq vakuum, past vakuum va yuqori vakuum miqdori konteynerning xarakteristik o'lchamlari bilan solishtiradigan o'rtacha erkin gaz molekulalarining yo'llariga ko'ra taqsimlanadi. Asosiy masala - gaz molekulalarining to'qnashuvi yoki gaz molekulalari bilan qurilmaning devorlari o'rtasidagi to'qnashuv jismoniy hodisalarning paydo bo'lishida hal qiluvchi rol o'ynashmi yoki yo'qmi.

Yuqori vakuum va ultra yuqori vakuum o'rtasidagi chegara 10-6Pa sifatida belgilanadi. Buning asosiy sababi vakuumning fizik adsorbsion mexanizmini ko'rib chiqishdan iborat. Faqat P <10-6pa bosimi="" aniqlanganida,="" uni="" ajratish="" uchun="" diffuziya="" pompasi="" orqali="" olish="" mumkin="" va="" bosim="" ba="" metr="" bilan=""> Ultra yuqori vakuum va ultra yuqori vakuum o'rtasida chegara kelganda, bu statistika farqi (5 * 10-2 dan yuqori) p <10-12 pa="" bo'lganda="" yuzaga="">

Yuqoridagi vakuum hududlari bosim oralig'ini ifodalovchi hududlarga bo'linadi, chunki bosim hali ham darajalarda ifodalanadi. Biroq, past vakuumda, yuqori vakuum, juda yuqori vakuum va juda yuqori vakuumda aytilgan bosim aslida boshqacha, faqat boshqa miqdorlarning nisbiy ko'rsatkichi.

Har bir hududda ishlatiladigan vakuum, vakuum pompasi va vakuum ko'rsatkichlarining fizik xususiyatlari 1-jadvalda keltirilgan.

Vakuum texnologiyasini ishlab chiqishda vakuum mintaqalarining bo'linishi ham o'zgardi.